[发明专利]蒸镀装置与有机薄膜的形成方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于包括：

储气室；

第一蒸发室，通过一第一管路与该储气室连接，其中该第一管路具有第一阀门；

压力计，通过一第二管路与该储气室连接；

裂解室，通过一第三管路与该储气室连接，其中该第三管路具有第二阀门；以及

沉积室，通过一第四管路与该裂解室连接。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括压力调节阀，通过一第五管路与该储气室连接。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括第二蒸发室，该第二蒸发室通过一第六管路与该储气室连接，且该第六管路具有第三阀门。

4.一种有机薄膜的形成方法，其特征在于包括：

提供一蒸镀装置，该蒸镀装置包括：

储气室；

第一蒸发室，通过一第一管路与该储气室连接，其中该第一管路具有第一阀门；

压力计，通过一第二管路与该储气室连接；

裂解室，通过一第三管路与该储气室连接，其中该第三管路具有一第二阀门；以及

沉积室，通过一第四管路与该裂解室连接；

将一第一有机材料置于该第一蒸发室中，且关闭该第二阀门并开启该第一阀门；

对该第一蒸发室中的该第一有机材料进行一第一蒸发步骤，以形成一第一有机气体，其中该第一有机气体通过该第一管路而传送至该储气室；

当该压力计测量到该储气室的该第一有机气体达到一预设压力之后，关闭该第一阀门并开启该第二阀门，以将该第一有机气体通过该第三管路传送至该裂解室；

在该裂解室中裂解该第一有机气体，以形成一第一有机单体；以及

将该第一有机单体通过该第四管路传送至该沉积室，以在该沉积室中形成一第一有机薄膜。

5.根据权利要求4所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该第一有机材料为对二甲苯材料。

6.根据权利要求4所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该第一有机材料为粉末或液体。

7.根据权利要求4所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该预设压力介于50mtorr至1000mtorr。

8.根据权利要求4所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该蒸镀装置还包括压力调节阀，通过一第五管路与该储气室连接。

9.根据权利要求8所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，当该压力计测量到该储气室的该第一有机气体未达到该预设压力时，开启该压力调节阀，以将一压力调节气体通过该第五管路传送至该储气室。

10.根据权利要求9所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该压力调节气体包括惰性气体。

11.根据权利要求4所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该蒸镀装置还包括第二蒸发室，该第二蒸发室通过一第六管路与该储气室连接，且该第六管路具有第三阀门。

12.根据权利要求11所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，当该第一有机材料消耗完之后，还包括：

关闭该第一阀门，并将一第二有机材料置于该第二蒸发室中，且开启该第三阀门；

对该第二蒸发室中的该第二有机材料进行一第二蒸发步骤，以形成一第二有机气体，其中该第二有机气体通过该第六管路而传送至该储气室；

当该压力计测量到该储气室的该第二有机气体达到一预设压力之后，关闭该第三阀门并开启该第二阀门，以将该第二有机气体通过该第三管路传送至该裂解室；

在该裂解室中裂解该第二有机气体，以形成一第二有机单体；以及

将该第二有机单体通过该第四管路传送至该沉积室，以在该沉积室中形成一第二有机薄膜。

13.根据权利要求12所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该第二有机材料为固体或液体。

14.根据权利要求12所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，形成该第二有机薄膜后还包括关闭该第二阀门。

15.根据权利要求12所述的有机薄膜的形成方法，其特征在于，该蒸镀装置还包括压力调节阀，通过一第五管路与该储气室连接。