[发明专利]一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法

权利要求书

1.一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）磁悬浮分子泵控制器控制磁悬浮分子泵电机升速，通过转子位移检测装置检测转子位移，通过转子转速检测装置检测转子转速，并将检测到的所述转子位移和转子转速信息发送给所述磁悬浮分子泵控制器；

所述磁悬浮分子泵控制器包括分散PID控制器、位移交叉反馈控制器和速度交叉反馈控制器，所述分散PID控制器中预先设置有两组控制参数，第一组控制参数具有高刚度、高阻尼的特性，第二组控制参数具有低刚度、低阻尼的特性，当所述转子从零开始升速时，所述分散PID控制器调用第一组控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制；

（2）当所述转子转速升高至中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器； 

（3）所述转子转速继续升高，当所述转子转速达到中速时，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到第二组控制参数；

（4）当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，然后所述转子的转速继续升高，直至达到工作转速。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于：当转子转速在0转/秒-40转/秒之间时为低速；当转子转速在40转/秒-80转/秒之间时为中低速；当转子转速在80转/秒-140转/秒之间时为中速；当转子转速在140转/秒-220转/秒之间时为中高速; 当转子转速在220转/秒以上时为高速。

3.根据权利要求1或2所述的磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于，在所述步骤（2）中，渐进启动位移交叉反馈控制器的过程如下：在预设的所述转子转速变化范围内，以固定的变化步长将交叉反馈控制器的增益逐步从零增加到设定值。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于：在所述步骤（3）中，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到第二组控制参数的过程如下：在预设的所述转子转速变化范围内，以固定的变化步长将分散PID控制器的刚度系数和阻尼系数从低速段需要的第一组控制参数逐步变化到高速段需要的第二组控制参数。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于，在所述步骤（4）中，渐进启动速度交叉反馈控制器的过程如下：预设的所述转子转速的变化范围内，以固定的变化步长将交叉反馈控制器的增益逐步从零增加到设定值。

6.根据权利要求3或4或5所述的磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于：所述预设的转子转速变化范围为15转/秒-30转/秒。