[发明专利]一种三氯氢硅的精馏器无效
| 申请号： | 201110354946.4 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102502657A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 石汝军;张晓斐;潘志粉 | 申请（专利权）人： | 淄博高新区联创科技服务中心 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 精馏 | ||
【权利要求书】：
1.一种提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于：包括预塔、三级三氯氢硅精馏塔和四氯氢硅精馏塔、原料回收塔等七级结构。
2.一级精馏除去混合液中的二氯二氢硅等低沸点组分，从塔釜得到已脱去低沸物的氯硅烷，塔顶得到低沸点馏分。
3.后续三级精馏塔分离出大量的四氯化硅和三氯氢硅中的高沸点成分，得到合格的三氯氢硅，质量可以满足生产太阳能及多晶硅的要求。
4.从其他精馏塔塔釜得到的含高沸点杂质的三氯氢硅则回收到粗原料槽中进行回收，避免物料浪费。
5.根据权利要求1所述的提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于：所述的预塔为导向筛板塔，操作压力为0-0.15MPaG，塔板数为22-26块，预塔底部设有预塔再沸器。
6.根据权利要求1或2所述的提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于：所述的三氯氢硅精馏塔为导向筛板塔，操作压力为0-0.15MPaG，塔板数为38-42块，三氯氢硅精馏塔底部设有三氯氢硅精馏器再沸器。
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