[发明专利]一种多晶硅专用毡

说明书

技术领域

本发明涉及滤料技术领域，具体涉及一种多晶硅专用毡。

背景技术

多晶硅生产设备内环境为高温高压，且充满四氯氢硅气体，该气体的腐蚀性强；现有的涤纶滤料难以长时间抵抗腐蚀气体的侵蚀，极易损坏；频繁的更换滤料对设备的连续生产造成影响。

发明内容

本发明创造所要解决的技术问题是提供一种耐腐蚀性强，且能适应高温高压环境的多晶硅专用毡。

为了实现上述发明目的，本发明创造采用如下技术方案：

一种多晶硅专用毡，包括作为基布的玄武岩基布，玄武岩纤维及PTFE纤维结合层；玄武岩纤维及PTFE纤维结合层分别铺设在基布两侧并与基布结合，其中，过滤气体进入方向的玄武岩纤维及PTFE纤维结合层上还设有PTFE膜结构。

进一步的，PTFE膜结构的膜孔径控制在0.2～15μm之间。

进一步的，PTFE膜结构的空隙率达85％以上。

由于采用如上所述的技术方案，本发明创造产生如下积极效果：

1、由于该专用毡滤料的选用，玄武岩纤维具有耐高温、耐腐蚀性；PTFE膜过滤精度高，能够保证产品的精度；从而使该专用毡具备抗腐蚀性，能够长期稳定的应用于多晶硅生产设备内高温高压环境。

2、经实际使用效果检验，此滤料比之前滤料使用时间延长一个月。

附图说明

图1是本发明创造的多晶硅专用毡的横截面图；

具体实施方式

结合图1，多晶硅专用毡包括作为基布的玄武岩基布，玄武岩纤维及PTFE纤维结合层；玄武岩纤维及PTFE纤维结合层分别铺设在基布两侧并与基布结合，其中，过滤气体进入方向的玄武岩纤维及PTFE纤维结合层上还设有PTFE膜结构。PTFE膜结构的膜孔径控制在0.2～15μm之间，其空隙率达85％以上。

玄武岩纤维较好的耐高温性能和优异的需酸碱腐蚀性能，需温可以达到600度以上，尤其是耐酸性突出；利用PTFE膜独特的节点原纤性、表面光滑、耐化学物质、透气不透水、透气量大、阻燃、耐高温、抗强酸碱、无毒等特性；使该多晶硅专用毡能够长时间抵抗腐蚀气体的侵蚀，不必频繁的更换滤料，从而更能保证设备的连续生产。