[发明专利]一种真空泵密封结构

说明书

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，具体说涉及一种真空泵密封结构。

背景技术

干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。伴随半导体行业、化学工业、薄膜产业迅速发展，国内外干式机械真空泵市场不断增长，由于这些行业的发展又对真空环境要求越来越严格，也就对真空泵提出了更高的要求，一个是极限真空度要尽量高，另一个是获得的真空环境应该是清洁无油的。在这些新工艺新要求下，对干式机械真空泵的轴封提出了更高的要求，普通干式机械真空泵会通过轴封向真空泵腔体内返油蒸汽，这个问题亟待解决。

发明内容

为了解决现有技术中的真空泵返油，密封效果差的问题，本发明的目的在于提供一种真空泵密封结构，本发明密封效果好，解决了向泵腔返油的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案。

一种真空泵密封结构，包括依次贯穿油腔轴承腔及泵腔的轴，还包括双唇轴封、过滤装置及油气分离装置，所述轴在轴承腔与油腔的部分沿轴向设有盲孔，所述过滤装置设置在该盲孔的靠近油腔的一端，所述轴的轴承腔段沿径向设有与所述盲孔连通的通孔；所述双唇轴封位于轴承腔的轴承座内，双唇轴封的两密封片中间圆周方向设有通气孔，与双唇轴封所述轴的盲孔相连通；所述油气分离装置位于轴承腔的上部，轴承腔的腔体内设有气孔一和气孔二，所述气孔一的一端与油气分离装置的上部连通，另一端与双唇轴封上的通气孔连通；所述气孔二的一端与油气分离装置的底部连通，另一端与泵腔连通。

所述双唇轴封与轴之间设有轴封环，该轴封环上设有通孔，该通孔两端分别与双唇轴封上的通气孔和所述轴上的径向通孔连通。

所述轴承环与所述轴之间采用矩形氟橡胶圈密封。

所述过滤装置包括轴端固定螺母、挡片及过滤垫片，其中轴端固定螺母内设有凹槽，所述挡片及过滤垫片置于该凹槽内。

所述油气分离装置包括连通器和油分滤芯。

所述连通器与轴承腔体之间采用O型氟胶圈密封。

所述双唇轴封采用特氟隆类材料。

所述轴承腔内的双唇轴封与轴承之间设有轴套。

所述轴套与轴承座凹槽之间的间隙小于0.15毫米。

所述轴套与所述轴之间采用矩形氟橡胶圈密封。

本发明具有以下优点：

1.本发明轴封采用双唇轴封，双唇轴封采用特氟隆类材料制作，减少了摩擦系数、更耐磨、使用寿命高，密封效果好。

2.本发明双唇轴封过盈安装在轴承座内，轴封双唇中间周向开有通气孔，与固定螺母、轴、轴封环、轴承腔形成连通油腔和泵腔的气道，从而平衡两腔压力，防止由于压力差油蒸汽通过轴封向泵腔渗漏，并防止产生夹气。

3.本发明在油腔的固定螺母内设置过滤垫，轴承腔设置油气分离装置，保证从油腔流向泵腔的气体是无油的气体。

4.本发明轴封环、轴套与轴采用矩形氟橡胶圈密封，轴套与轴承座凹槽间隙小于0.15毫米，形成间隙密封，减少油蒸汽轴向通过到达轴封的数量。

5.本发明采用油气分离装置，该装置由油分滤芯和联通器组成，保证流过气体清洁无油，油气分离装置与外界和泵腔采用形氟橡胶圈密封。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为油气分离装置示意图；

其中：1为固定螺母，2为挡片，3为过滤垫，4为油腔，5、为矩形氟胶圈，6为轴套，7为轴承腔，8为轴封环，9为双唇轴封，10为O型氟胶圈，11为联通器，12为油分滤芯，13为气孔一，14为气孔二。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步描述。

如图1、图2所示，本发明包括依次贯穿油腔4、轴承腔7及泵腔的轴、双唇轴封9、过滤装置及油气分离装置，所述轴在轴承腔7与油腔4的部分沿轴向设有盲孔，所述过滤装置设置在该盲孔的靠近油腔4的一端，所述轴的轴承腔段沿径向设有与所述盲孔连通的通孔；双唇轴封9过盈安装在轴承腔7的轴承座内，并设置在所述轴的径向通孔处，双唇轴封9的两密封片中间圆周方向设有通气孔，与双唇轴封9所述轴的盲孔相连通；所述油气分离装置位于轴承腔7的上部，轴承腔7的腔体内设有气孔一13和气孔二14，气孔一13的一端与油气分离装置的上部连通，另一端与双唇轴封9上的通气孔连通；所述气孔二14的一端与油气分离装置的底部连通，另一端与泵腔连通。