[发明专利]表面感测设备

权利要求书

1.一种用于测量工件表面的装置，包括：

支撑件；

将所述支撑件连接到机器的可移动臂上的连接部件；

用于感测工件表面的单向探头或表面抛光探头；

所述支撑件具有第一构件和第二构件，第一构件被第一马达促动可以围绕第一旋转轴线相对于所述连接部件旋转，第二构件被第二马达促动可以围绕第二旋转轴线相对于所述第一构件旋转，其中所述第二旋转轴线横穿所述第一旋转轴线，且所述单向探头或表面抛光探头可以连接到所述第二构件从而与其一起旋转；

其中设置一旋转部件，用于允许所述单向探头或表面抛光探头围绕第三旋转轴线相对于所述支撑件旋转；

其特征在于，所述单向探头或表面抛光探头在横穿第三旋转轴线的方向上感测表面。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑件的所述第一旋转轴线和第二旋转轴线正交。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述单向探头或表面抛光探头围绕其旋转的所述第三旋转轴线与所述支撑件的所述第二旋转轴线相交。

4.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述单向探头或表面抛光探头围绕其旋转的所述第三旋转轴线是所述单向探头或表面抛光探头的基本上纵向的轴线。

5.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述单向探头或表面抛光探头是接触式探头。

6.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述单向探头或表面抛光探头是非接触式探头。

7.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述单向探头或表面抛光探头包括探头主体、触针和触针末梢。

8.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述旋转部件允许所述单向探头或表面抛光探头旋转至多360度并包括360度。

9.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述旋转部件允许所述单向探头或表面抛光探头旋转大于360度，或连续旋转。

10.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述旋转部件是马达。

11.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述单向探头是激光光斑探头和激光线探头的至少其中之一。

12.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述表面抛光探头是单向探头。

13.一种使用测量工件表面的装置的方法，所述装置包括：支撑件；将所述支撑件连接到机器的可移动臂上的连接部件；感测工件表面的单向探头或表面抛光探头，所述支撑件具有第一构件和第二构件，第一构件被第一马达促动可以围绕第一旋转轴线相对于所述连接部件旋转，第二构件被第二马达促动可以围绕第二旋转轴线相对于所述第一构件旋转，其中所述第二旋转轴线横穿所述第一旋转轴线，且所述单向探头或表面抛光探头可以连接到所述第二构件从而与其一起旋转；

允许所述单向探头或表面抛光探头围绕第三旋转轴线相对于所述支撑件旋转的旋转部件，

其中所述单向探头或表面抛光探头在横穿第三旋转轴线的方向上感测表面，

其特征在于，所述方法包括以下步骤：

旋转所述旋转部件以便相对于所述支撑件确定所述单向探头或表面抛光探头的方位。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述表面抛光探头是单向探头。

15.如权利要求13或14所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括步骤：

沿着所述工件的所述表面驱动所述表面抛光探头或所述单向探头；和

收集有关所述工件的所述表面的信息。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，包括扫描工件。