[发明专利]一种大口径非球面朗奇检测方法

权利要求书

1.一种大口径非球面朗奇检测方法，其特征是，包括以下步骤：

a) 通过光线追迹和理想面形上给定直正弦条纹的相位信息设计补偿正弦光栅上的弯曲条纹，将弯曲条纹显示在透射液晶显示屏上；

b) 利用一个离轴点光源发出的光照明整个被测镜面，其反射光透过补偿正弦光栅；

c) 通过摄像机记录携带镜面相对其理想面形的偏差信息的条纹图；

d) 分析采集条纹图，得到被测镜面的偏差梯度，对偏差梯度积分，恢复被测镜面的偏差，进而重建被测镜面的三维面形。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述显示弯曲条纹图的透射液晶显屏被用作补偿正弦光栅，并作为相移装置，使补偿正弦光栅产生相移。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述补偿正弦光栅包括垂直方向的补偿光栅和水平方向的补偿光栅，它们分别对应了理想面形上给定的垂直正弦条纹和水平正弦条纹。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述一个离轴点光源使检测系统更方便，不存在同轴朗奇检测中叠栅条纹图对测量结果造成的误差。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分析采集条纹图是通过找摄像机的每个像素点在光栅上的同名点来确定实际横向像差，以及由光线追迹计算过光栅的实际反射光线与理想面形交点对应的理想横向像差，然后利用朗奇检测的几何原理得到在点光源离轴的情况下沿非球面法线方向的镜面偏差梯度。