[发明专利]一种熔丝组件、熔丝组件制造方法及设备有效
申请号: | 201110362885.6 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN103117269A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 叶文正;杨帆 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L21/768 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组件 制造 方法 设备 | ||
1.一种熔丝组件,包括:介质层,位于所述介质层上表面的一具有四个侧面的金属熔丝,所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分,其特征在于,所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖有保护层,所述第二部分位于一保护腔体中,位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。
2.如权利要求1所述的熔丝组件,其特征在于,所述第一宽度值大于零,及小于所述金属熔丝的宽度;所述第一宽度值与所述第二宽度值之和为所述金属熔丝的宽度。
3.如权利要求1所述的熔丝组件,其特征在于,所述保护层由二氧化硅制成。
4.如权利要求1所述的熔丝组件,其特征在于,所述保护腔体由二氧化硅制成。
5.如权利要求1所述的熔丝组件,其特征在于,所述介质层由二氧化硅制成。
6.如权利要求1所述的熔丝组件,其特征在于,制造所述金属熔丝所用的金属为铝、铜或银。
7.一种熔丝组件制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
生成介质层;
在所述介质层上表面设置一具有四个侧面的金属熔丝;所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分;
在所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖保护层;
使所述第二部分位于一保护腔体中,其中位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。
8.一种熔丝组件制造设备,其特征在于,包括:
生成装置,用于生成介质层;
第一操作装置,用于在所述介质层上表面设置一具有四个侧面的金属熔丝;所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分;
处理装置,用于在所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖保护层;
第二操作装置,用于使所述第二部分位于一保护腔体中,其中位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。
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