[发明专利]填充冗余金属的方法及冗余金属填充模式查找表建立方法

权利要求书

1.一种填充冗余金属的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将电路版图划分成一个或多个结构单元；

(2)提取所述结构单元的几何参数；

(3)根据提取的所述结构单元的几何参数查询已建立的几何参数与冗余金属填充模式相对应的填充查找表，得到所述结构单元的冗余金属填充模式。

2.如权利要求1所述的填充冗余金属的方法，其特征在于，所述提取所述结构单元的几何参数包括提取所述电路版图的结构单元中的互连线线宽、互连线间距和互连线正对长度。

3.如权利要求1所述的填充冗余金属的方法，其特征在于，所述步骤(3)具体包括：如果所述填充查找表中具有与所述结构单元的几何参数相一致的几何参数，则将所述相一致的几何参数的索引下的填充模式作为所述结构单元的填充模式；如果所述填充查找表中没有与所述结构单元的几何参数相一致的几何参数，则计算所述结构单元的几何参数与所述填充查找表中几何参数的偏差值，以所述填充查找表中与所述结构单元的几何参数偏差值最小的几何参数索引下的填充模式作为所述结构单元的填充模式。

4.如权利要求1所述的填充冗余金属的方法，其特征在于，所述冗余金属填充模式包括以行列或错位形式填充冗余金属以形成几何形状的冗余金属块。

5.一种冗余金属填充模式查找表的建立方法，包括如下步骤：

A.对多个互连结构分别采用多个几何参数进行表征后，分别采用多种冗余金属填充模式进行填充；

B.对每个所述互连结构的每种冗余金属填充模式进行平坦性模拟和电容提取；

C.根据平坦性和电容均满足要求的填充模式及相应的几何参数，建立相应的填充查找表。

6.如权利要求5所述的冗余金属填充模式查找表的建立方法，其特征在于，所述互连结构为两根或多根平行金属线结构。

7.如权利要求5所述的冗余金属填充模式查找表的建立方法，其特征在于，所述步骤A中的几何参数包括所述互连结构中的互连线线宽、互连线间距和互连线正对长度。

8.如权利要求5所述的冗余金属填充模式查找表的建立方法，其特征在于，所述步骤C具体包括：将所述几何参数作为所述填充查找表的索引，将与所述几何参数相应的填充模式作为查找内容，建立所述索引和查找内容相应的填充查找表。

9.如权利要求5所述的冗余金属填充模式查找表的建立方法，其特征在于，所述结构单元的互连线数目与所述互连结构的互连线数目相等。