[发明专利]盘状物夹持装置有效
| 申请号： | 201110365937.5 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102437079A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张豹;李伟;张晓红;王锐廷;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 盘状物 夹持 装置 | ||
1.一种盘状物夹持装置，其特征在于，包括：卡盘主体、凸轮、转轴、至少三个夹持部件，所述转轴安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，用于带动所述卡盘主体旋转，所述凸轮可旋转地安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，所述夹持部件安装在所述卡盘主体上，其非夹持端通过限位挡块顶在所述凸轮的活动面上，所述限位挡块用于在所述凸轮随卡盘主体转动时，沿所述卡盘主体径向固定所述夹持部件，所述活动面用于在所述凸轮相对卡盘主体转动时，使所述夹持部件沿所述卡盘主体径向向外移动。
2.如权利要求1所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述活动面由在所述夹持部件和所述凸轮的连接处所述凸轮的侧面沿径向向里凹进的曲面形成。
3.如权利要求1所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述凸轮通过轴承安装在所述卡盘主体上。
4.如权利要求1所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述凸轮上设置有第一挡块，所述卡盘主体上设置有与所述第一挡块相配合的第二挡块，使得所述卡盘主体驱动所述凸轮旋转。
5.如权利要求1所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述卡盘主体和凸轮之间连接有至少一个第一弹性部件。
6.如权利要求5所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述凸轮上至少设有一个弧形孔，所述第一弹性部件的一端固定在所述凸轮上，另一端连接通过弧形孔固定在所述卡盘主体上。
7.如权利要求1所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述凸轮上设置有至少一个驱动孔，用于在驱动杆插入的作用下使所述凸轮与所述卡盘主体相对转动。
8.如权利要求1～7中任一项所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述夹持部件上设置有使其顶在所述活动面上且与所述限位挡块连接的凸台。
9.如权利要求8所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述凸台上设置有啮合面和避开面，所述啮合面用于在所述夹持部件随卡盘主体转动时与所述限位挡块啮合，所述避开面用于在所述凸轮相对所述卡盘主体转动时避开所述限位挡块。
10.如权利要求9所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述凸台上还设有与所述曲面接触的滑动装置。
11.如权利要求8所述的盘状物夹持装置，其特征在于，在所述夹持部件上沿所述卡盘主体径向方向上设置有第二弹性部件，且所述第二弹性部件的一端顶在所述卡盘主体上，另一端顶在所述凸台上。
12.如权利要求8所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述夹持部件的盘状物夹持点到所述卡盘主体中心的距离小于盘状物的半径。
13.如权利要求8所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述卡盘主体上至少有三个盘状形支撑架。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
