[发明专利]一种安全门

说明书

技术领域

本发明涉及安全门技术领域，具体涉及一种安全门。

背景技术

在半导体工艺设备中，微环境即硅片的装载区，该区域是一个氮气浓度较高的区域，氧气含量较低，是一个密闭的空间，该区域涉及较多的运动机构。因此进入微环境内部非常的危险，若是不能及时的出来，会产生致命的威胁。

传统的半导体设备上都是只在微环境内的门(简称为微环境门)的外部安装门锁，或者说只能在微环境门外通过门锁打开或者关闭微环境内的门，而不能在内部打开微环境门。但是若设备维护过程中或者其它情况有人员被关在微环境内里面，将可能会因为微环境内氧含量过低，对人的生命安全产生致命的威胁。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题是：如何设计一种安全门。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供了一种安全门，包括门、安全门锁和机械门锁，所述安全门锁安装在所述门内侧上，所述机械门锁安装在所述门外侧上。

优选地，所述门为微环境门。

优选地，所述安全门还包括位于所述微环境门内侧的微环境门框。

优选地，所述安全门锁包括接头和搭扣，所述接头通过所述微环境门框与所述搭扣固定连接。

优选地，所述微环境门框上安装有锁块，所述搭扣安装在所述锁块内。

优选地，所述接头为可旋转的羽翼形接头。

优选地，所述微环境门框上安装有密封圈。

优选地，所述安全门锁的材料为洁净系列产品。

优选地，所述安全门锁的材料为316L不锈钢。

优选地，所述机械门锁为转舌式门锁。

(三)有益效果

本发明通过在门内、外侧同时设置门锁设计了一种安全门，其结构简单，尤其适用于半导体设备中，能够保证在微环境内工作的安全性。

附图说明

图1是本发明实施例的安全门示意图；

图2是安全门锁关闭时安全门的结构示意图；

图3是安全门锁打开时安全门的结构示意图；

图4是安全门锁拆卸示意图；

图5是羽翼形接头的结构示意图；

图6是搭扣的结构示意图；

图7是微环境门框的结构示意图；

图8是锁块的结构示意图。

其中，1安全门锁位置；2安全门锁；3微环境门；4微环境门框；5锁块；6转舌式门锁；7密封圈；8微环境内侧。

具体实施方式

下面对于本发明所提出的一种安全门，结合附图和实施例详细说明。

本发明实施例通过在微环境门内侧安装安全门锁，实现了既可以从外部打开微环境门，也可以从内部打开微环境门。

如图1～4所示，本发明实施例的用于半导体设备中的安全门，包括微环境门3、安全门锁2和转舌式门锁6，所述安全门锁2安装在所述微环境门3内侧上，所述转舌式门锁6安装在所述微环境门3外侧上。其中，图2～图4均为侧视图。

所述微环境门3包括位于所述微环境门3内侧的微环境门框4。

所述安全门锁2包括可旋转的羽翼形接头(为现有技术，如图5所示)和搭扣(如图6所示)，所述羽翼形接头通过所述微环境门框4与所述搭扣固定连接。人通过转动该羽翼形接头90°即可打开微环境门3.

所述微环境门框4上安装有锁块5，所述搭扣安装在所述锁块5内。

所述微环境门框4上安装有密封圈7。

所述安全门锁2锁的材质选用原则为洁净系列产品，如316L不锈钢等，能够保证不会有挥发性颗粒进入微环境内，影响的产品的工艺质量。

微环境门3的门板以及门框表面平整、无弯曲变形，能够保证通过安全门锁2使门板与门框之间扣紧无缝隙。

如图2所示，半导体设备在工作过程中，微环境门3关闭，所有转舌式门锁6锁定，在微环境内部的人员不能打开转舌式门锁6，当维修人员在微环境内部中而微环境外部的转舌式门锁6锁定时，则微环境内部的人员可从微环境内部打开安全门锁2(转动该羽翼形接头90°)，即可将微环境门3打开，避免了在微环境内部氧含量过低对人的生命造成的威胁。

需要说明的是，本发明还可以用于除半导体领域外的其它加工设备中，用于其它加工设备中时，所述微环境门3可以替换为其它类型的提供相对密闭空间的门。其中，所述转舌式门锁6也可以用其它机械门锁来代替。实验证明，本发明用于半导体设备中时效果很好。

以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。