[发明专利]一种简易精密位移台

权利要求书

1.一种简易精密位移台，其特征在于，包括基座（1）、隔振器（2）、固定内六角螺钉（3）、直线导轨（4），内六角紧定螺钉（5），微动工作台（6），压电陶瓷驱动器（7），直线光栅尺（8），直线电机（9）；

所述基座（1）为整个位移台的载体，在基座（1）下部安装的隔振器（2），两根直线导轨（4）通过固定内六角螺钉（3）紧固在基座（1）上，两个直线电机（9）分别布于直线导轨（4）的同端内侧上，直线电机（9）与微动平台（6）通过内六角紧定螺钉（5）连接；两个直线电机（9）上装有直线光栅尺（8）；通过直线光栅尺（8）的反馈数据，两个直线电机（9）同步输出精密位移；通过导轨（4）的导向，直线电机（9）和微动平台（6）无间隙、同步运动；

    所述微动工作台（6）采用“Ⅲ”字型布置，工作台的外框通过内六角紧定螺钉（5）与直线电机（9）相连，使直线电机（9）的位移输出传递给微动工作台（6）；微动工作台（6）中央的工作台两侧均布着等长等厚的矩形弹簧片，弹簧片的平行对称布置构成平行四杆机构；压电陶瓷驱动器7在保证其与工作台无隙接触的情况下，固定安装在微动平台6的卡槽内；微动平台6内的工作台上设有螺纹安装孔，可以用于安装测量头或微型刀具等，以用于精密测量与精密加工；

所述直线导轨（4）采用“工”字型导轨，每个导轨各有两侧，一侧通过均布的三个固定内六角螺钉（3）紧固在基座（1）上，另一侧则安装有直线电机（9）。

2.依据权利要求1所述的一种简易精密位移台，其特征在于，采用直线电机（9）作为大行程驱动元件，压电陶瓷驱动器（7）作为微位移驱动元件，通过二者实现整个工作台的高响应，高刚度等性能；直线光栅尺（8）实现了直线电机（9）的反馈调节，实现了输出位移的精确可控。