[发明专利]整体升降式软着陆推拉舟

说明书

技术领域

本发明涉及自动送料系统，尤其涉及半导体、光伏产业中PECVD自动送料系统中的软着陆推拉舟。 

 

背景技术

太阳能电池片生产的扩散过程是在炉膛内进行，在高温环境下，通过分子的热运动，让磷(P)、铝(AL)、镓(Ga)、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部，形成PN结。在进行扩散之前，需要将被扩散的硅片通过推拉舟放入炉膛内，扩散过程结束后，再从炉体内取出。

目前在半导体及光伏产业中扩散、PECVD自动送料系统中，现有的推拉舟通常使用丝杠传动，底盘不动，只是加持部分局部上下运动，其缺点在于： 1.占用空间大，设备结构不美观；2.由于丝杠上的传动螺母使用频率较高，经常会坏，更换起来非常麻烦，维修频率比较高；3.稳定性差等。

 

发明内容

为了解决以上技术问题，本发明提供了一种稳定性高、维修频率低、占用空间小的整体升降式软着陆推拉舟。

本发明所述整体升降式软着陆推拉舟，包括横向机构、升降机构、托架机构；其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板，电机与同步带轮连接，同步带套在同步带轮上，同步带与固定板固定连接，固定板与滑块固定连接，滑块与滑轨配合，滑轨固定在底板上；升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块，电机通过联轴器与螺旋升降机连接，螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接，滑轨与滑块配合，滑块与横向机构中的底板固定连接；托架机构与横向机构中的固定板固定连接。

工作时，横向机构是推拉舟在水平方向上的传动机构，负责将装满硅片的舟水平送入加热炉体内，或从加热炉体内水平取出舟；横向机构中电机带动同步带轮转动，同时同步带轮带动同步带一起旋转，同步带固定在固定板上，当同步带运动时，带动固定板在滑轨上一起运动。升降机构是推拉舟在竖直方向上的传动机构，负责将装满硅片的舟平稳的落在加热炉体里的石英管内，或将舟竖直向上抬起从而脱离石英管；升降机构中的电机通过联轴器带动螺旋升降机一起运动，螺旋升降机带动着横向机构沿着滑轨整体上下运动。

本发明所述整体升降式软着陆推拉舟前进、后退动作，采用步进电机带动同步带和同步带轮来实现的，降低了维修频率，解决了更换麻烦的不足；其上下运动采用整体升降式运动，减少了推拉舟的占用空间，提高了设备的稳定性。

为达到更好的效果，本发明所述整体升降式软着陆推拉舟还可以采用以下措施：

1、所述升降机构的螺旋升降机为2个，分别与横向机构中底板的两端固定连接，2个螺旋升降机之间由连接杆相连。这样可使横向机构上下运动更加平稳。

2、所述升降机构的滑块内设置有直线轴承。从而使横向机构上下运动时更加平稳。

3、所述托架机构包括2根SiC杆、定位块、支撑杆、固定环、调节螺栓、固定方块、连接板。其中，定位块设置在2个SiC杆之间，2个SiC杆通过固定环与支撑杆固定连接，支撑杆通过固定方块及调节螺栓与连接板固定连接，连接板与横向机构中的固定板固定连接。石墨舟放在SiC杆1，定位块对石墨舟定好位，然后通过调节螺栓对固定方块的位置进行调整，从而使2根SiC杆在同一水平面上。

4、本发明所述整体升降式软着陆推拉舟还包括限位控制机构。当推拉舟前进或后退受到阻力时，电机的电流会变大，设备上的PLC收到信号后便自动切断电机电源，起到保护石墨舟的作用。

 

附图说明

图1为本发明所述整体升降式软着陆推拉舟结构示意图。

图2为图1中横向机构的结构示意图。

图3为图1中升降机构的结构示意图。

图4为图1中托架机构的结构示意图。

图中编号说明:

1-横向机构；2-升降机构；3-托架机构；4-限位控制机构；5-电机；6-同步带轮；7-同步带；8-固定板；9-滑块；10-滑轨；11-底板；12-联轴器；13-螺旋升降机；14-连接杆；15-SiC杆；16-定位块；17-支撑杆；18-固定环；19-调节螺栓；20-固定方块；21-连接板。

 

具体实施方式

结合图1至图4对本发明所述整体升降式软着陆推拉舟进行详细说明。

如图1所示，本发明所述整体升降式软着陆推拉舟，包括横向机构1、升降机构2、托架机构3、限位控制机构4。