[发明专利]快速控制静电吸盘温度的装置及方法

权利要求书

1.一种控制静电吸盘温度的装置，包括：

静电吸盘，所述静电吸盘的中心区域与边缘区域各设置有热交换通道；

中心区域冷却液供应管道，用于向中心区域的热交换通道供应冷却液；

边缘区域冷却液供应管道，用于向边缘区域的热交换通道供应冷却液；

其特征在于，所述控制静电吸盘温度的装置还包括多个冷却装置，所述多个冷却装置通过切换装置连接到所述中心区域和边缘区域的冷却液供应管道，通过切换装置的切换以选择性地将所述多个冷却装置与中心区域或边缘区域的冷却液供应管道相连通，使静电吸盘中热交换通道内的热量通过冷却液被带到冷却装置。

2.根据权利要求1所述的控制静电吸盘温度的装置，其特征在于，所述多个冷却装置分别通过所述切换装置与中心区域或边缘区域冷却液供应管道之一连通。

3.根据权利要求1所述的控制静电吸盘温度的装置，其特征在于，所述切换装置为阀门组。

4.根据权利要求3所述的控制静电吸盘温度的装置，其特征在于，所述多个冷却装置为三个。

5.一种控制静电吸盘温度的装置，包括：

静电吸盘，所述静电吸盘的中心区域与边缘区域各设置有热交换通道；

中心区域冷却液供应管道，用于向中心区域的热交换通道供应冷却液；

边缘区域冷却液供应管道，用于向边缘区域的热交换通道供应冷却液；

其特征在于，所述控制静电吸盘温度的装置还包括多个冷却装置，所述多个冷却装置通过按比例切换装置连接到所述中心区域和边缘区域的冷却液供应管道，通过按比例切换装置的切换可以按比例地将所述多个冷却装置与中心区域或边缘区域的冷却液供应管道相连通，使静电吸盘中热交换通道内的热量通过冷却液被带到冷却装置。

6.根据权利要求5所述的控制静电吸盘温度的装置，其特征在于，所述按比例切换装置为阀门组。

7.根据权利要求5所述的控制静电吸盘温度的装置，其特征在于，所述多个冷却装置为三个。

8.一种使用权利要求1所述的控制静电吸盘温度的装置进行温度控制的方法，其特征在于，包括：

中心区域需快速降温时，通过切换装置加大中心区域的热交换通道中流过的冷却液；

边缘区域需快速降温时，通过切换装置加大边缘区域的热交换通道中流过的冷却液。

9.根据权利要求8所述的温度控制的方法，其特征在于，所述切换装置为二位三通电磁阀，且每个冷却装置连接一个二位三通电磁阀；

中心区域需快速降温时，每个二位三通电磁阀将其对应的冷却装置中的冷却液全部供给中心区域的热交换通道；

边缘区域需快速降温时，每个二位三通电磁阀将其对应的冷却装置中的冷却液全部供给边缘区域的热交换通道。

10.一种使用权利要求5所述的控制静电吸盘温度的装置进行温度控制的方法，其特征在于，包括：

中心区域需快速降温时，通过按比例切换装置加大中心区域的热交换通道中流过的冷却液；

边缘区域需快速降温时，通过按比例切换装置加大边缘区域的热交换通道中流过的冷却液。

11.根据权利要求10所述的温度控制的方法，其特征在于，切换装置为二位三通电磁阀与流量阀，且每个冷却装置连接一个二位三通电磁阀与一个流量阀；

中心区域需快速降温时，每个二位三通电磁阀将其对应的冷却装置中的冷却液通过流量阀限制供给边缘区域的热交换通道；

边缘区域需快速降温时，每个二位三通电磁阀将其对应的冷却装置中的冷却液通过流量阀限制供给中心区域的热交换通道。