[发明专利]一种耐高压气介超声波传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种耐高压气介超声波传感器，传感器元件设置于壳体内，其特征在于：所述的壳体为金属壳体，金属壳体内灌封有灌封胶，金属壳体内分为上下两个区域，包括工作区域和密封区域，工作区域的传感器元件周边灌封吸声型灌封胶；电缆线由密封区域进入并穿过，电缆线周边灌封密封型灌封胶。

2.根据权利要求1所述的一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的壳体包括前盖板和管状侧板，前盖板连接于管状侧板的一端，前盖板中心开设电缆线进线通道，管状侧板的另一端的端面为聚四氟乙烯薄膜；管状侧板与聚四氟乙烯薄膜围成的区域为工作区域，前盖板中心的进线通道以及其与管状侧板连接区域为密封区域。

3.根据权利要求2所述的一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：传感器元件包括由外向内依序覆盖在管状侧板内壁的软木板层和铜皮层，以及平行于聚四氟乙烯薄膜设置的后盖板和压电陶瓷片。

4.根据权利要求2所述的一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的前盖板和管状侧板采用不锈钢材料。

5.根据权利要求3所述的一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的后盖板采用45号钢。

6.根据权利要求1所述的一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的电缆线为双芯屏蔽线。

7.根据权利要求1至6所述的任意一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的吸声型灌封胶为聚氨酯胶和软木粉混合而成，其中聚氨酯胶占混合胶体总重量的97％-99％，软木粉占混合胶体总重量的1％-3％。

8.根据权利要求7所述的一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的软木粉细度为200-600目。

9.根据权利要求1至6所述的任意一种耐高压气介超声波传感器，其特征在于：所述的密封型灌封胶为环氧树脂胶，环氧树脂的质量分数为50％-70％。

10.一种耐高压气介超声波传感器的制造方法，其特征在于：其包括如下步骤：

步骤1：将软木板和铜皮依序紧贴在管状侧板的内壁上，在管状侧板内形成软木板层和铜皮层；

步骤2：压电陶瓷片、后盖板和聚四氟乙烯薄膜依序粘结形成传感器单元；

步骤3：将电缆线与上述传感器单元连接，并将其固定于带软木板层和铜皮层的管状侧板内，聚四氟乙烯薄膜位于端面上；

步骤4：将前盖板和管状侧板相扣合，从前盖板的电缆线进线通道灌入吸声型灌封胶并灌满工作区域；

步骤5：将上述的半成品置于空气中晾干或者在50℃-70℃高温箱内烘干；

步骤6：从前盖板的电缆线进线通道灌入密封型灌封胶并灌满密封区域，密封型灌封胶位于凝固的吸声型灌封胶之上；

步骤7：再次将上述的半成品置于空气中晾干或者在50℃-70℃高温箱内烘干。