[发明专利]镍靶坯及靶材的制造方法无效
| 申请号： | 201110370509.1 | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102400073A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/10 | 分类号： | C22F1/10;C21D8/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镍靶坯 制造 方法 | ||
1.一种镍靶坯的制造方法，其特征在于，包括：
提供镍锭；
对所述镍锭进行锻造；
对锻造后的镍锭进行压延，形成镍靶坯；
对所述镍靶坯进行退火，所述退火的温度为300℃～500℃，保温时间为1～2h。
2.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，还包括：在对所述镍锭进行锻造前，将所述镍锭加热到再结晶温度以上，所述再结晶温度为320℃～380℃。
3.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，还包括：对退火后的镍靶坯进行冷却。
4.如权利要求3所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述冷却方式为水冷，冷却时间为30～60s。
5.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述压延包括冷压或热压。
6.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述对锻造后的镍锭进行压延包括：对锻造后的镍锭进行多道次压延。
7.如权利要求6所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，每道次的压延量为镍锭高度的10％～20％。
8.如权利要求6所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，每道次压延后旋转预设角度再进行压延。
9.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，还包括：在对锻造后的镍锭进行压延前，对锻造后的镍锭进行退火。
10.一种镍靶材的制造方法，其特征在于，包括：
采用权利要求1～9任一项所述的镍靶坯制造方法获得镍靶坯；
将所述镍靶坯进行机械加工；
将机械加工后的镍靶坯与背板进行焊接。
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