[发明专利]一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体

权利要求书

1.一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，包含低阻硅基底(1)、位于低阻硅基底(1)之上的金属层(2)、位于金属层之上的绝缘层(3)、位于绝缘层(3)之上的微开口环(4)和电源引线(5)、位于电源引线(5)之上的锚点(6)和位于锚点(6)之上的微悬臂梁(7)，其特征在于：微悬臂梁(7)一端固定于锚点(6)，另一端位于微开口环(4)开口中央正上方，且微悬臂梁(7)的中心线与微开口环(4)的开口中心线重合；所述开口环(4)的开口边的对边与电源引线(5)的中部重合。

2.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的金属层(2)、微开口环(4)、电源引线(5)、锚点(6)和微悬臂梁(7)的材料可以是金、铜或者铝。

3.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的绝缘层(3)是厚度为1～10微米的聚合物或者二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的微开口环的线条宽度为2～12微米。

5.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的锚点厚度为0.2～8微米。

6.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的微悬臂梁(7)的长度为20～200微米。

7.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的微悬臂梁(7)的宽度为2～20微米。

8.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的微悬臂梁(7)的厚度为0.5～8微米。

9.根据权利要求1所述的一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，其特征在于：所述的微悬臂梁(7)与微开口环开口边缘的水平间距为0.1～5微米。