[发明专利]掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种制备掺杂二氧化钛的石英玻璃的方法，包括以下步骤：通过燃烧器嘴与可燃气体和助燃气体一起供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体，使反应气体进行氧化或火焰水解以形成合成的氧化硅-二氧化钛细颗粒，在旋转靶上沉积该氧化硅-二氧化钛细颗粒，且同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭，

该方法还包括以使得燃烧器嘴和锭的生长前沿之间的距离为至少250mm的速率缩回靶的步骤。

2.如权利要求1所述的方法，其中该锭具有生长轴，该燃烧器包括具有喷嘴轴的、用于供给反应气体的中央管，并且燃烧器相对于靶的定向使得在生长轴和喷嘴轴之间的角度为至少126度。

3.如权利要求1所述的方法，其中燃烧器包含：包括用于供给反应气体的中央管的中央多重管部分，和围绕中央多重管部分的多喷嘴部分，且通过燃烧器供给作为助燃气体的氧气和作为燃烧气体的氢气，使得在多喷嘴部分和中央多重管部分中的至少一者中可获得超过化学计量比的氧气。

4.如权利要求1所述的方法，其中供给步骤包括：通过燃烧器以至多100m/sec的线速度喷射作为燃烧气体的氢气，且以至少30m/sec的线速度喷射反应气体。

5.如权利要求1所述的方法，其中供给提供硅的反应气体、提供钛的反应气体、燃烧气体和助燃气体的步骤包括控制每一种气体的流量在以体积计±1％的变化范围内。

6.一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，其具有每5mm厚度的表观透射率的吸收限波长，该吸收限波长的分布小于或等于10nm。

7.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其中每5mm厚度的表观透射率的吸收限波长大于或等于270nm。

8.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其中在350至800nm波长处每5mm厚度的表观透射率大于或等于70％。

9.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其中除钛以外的金属杂质总合量小于或等于100ppb。

10.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，具有小于或等于5×10¹⁷分子/cm³的氢分子浓度。

11.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，包含以重量计3至10％的二氧化钛。

12.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，具有低于或等于925℃的假想温度。

13.如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，具有小于或等于50℃的假想温度分布。

14.一种包括如权利要求6所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV光刻部件。

15.如权利要求14所述的部件，其是EUV光刻光掩模基材。