[发明专利]具有处理卷性电路板材料的等离子设备

权利要求书

1.一种具有处理卷性电路板材料的等离子设备，包括机架（1）、设置于所述机架（1）内的真空腔体（2），其特征在于：在所述真空腔体（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）、至少两对平行设置的正负电极（5）以及若干个导向轴，所述每个正电极与外围的射频电源电连接，所述每个负电极接地，在所述收料轴（4）的轴端上通过离合器（9）设置有伺服电机Ⅰ（6），卷性材料从所述放料轴（3）处放料，经导向轴从每对正负电极（5）之间穿过，最后收于所述收料轴（4）。

2.根据权利要求1所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：在所述放料轴（3）的轴端上通过所述离合器（9）设置有伺服电机Ⅱ（7）。

3.根据权利要求2所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：所述伺服电机Ⅰ（6）与所述伺服电机Ⅱ（7）上均设置有刹车装配。

4.根据权利要求1所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：每对所述正负电极（5）中的正电极和负电极之间的距离相同。

5.根据权利要求4所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：所述正负电极（5）的对数可以设置为二或三或四。

6.根据权利要求1至5任一项所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：所述正负电极（5）的电极由铝合金板组成。

7.根据权利要求1至5任一项所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：所述收料轴（4）和所述放料轴（3）的收放料速度范围为0.1～1m/min。

8.根据权利要求1至5任一项所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：所述具有处理卷性电路板材料的等离子设备可处理的卷性材料的宽度范围为10～500mm。

9.根据权利要求1至5任一项所述的具有处理卷性电路板材料的等离子设备，其特征在于：所述真空腔体（2）由铝合金材料制成。