[发明专利]PZT同步激励压缩放电通道的微细电火花加工设备及其加工方法

权利要求书

1.一种PZT同步激励压缩放电通道的微细电火花加工装置，包括PZT晶体致动器、电极、PZT晶体致动器驱动电源、控制器和晶体管式脉冲电源，其特征是：电极安装在PZT晶体致动器上，晶体管式脉冲电源、电极和工件串联构成主回路，PZT晶体致动器与PZT晶体致动器驱动电源连接，PZT晶体致动器驱动电源用于给PZT晶体致动器中的PZT晶体提供电能而使之伸缩，控制器为一个可编程控制的脉冲信号延迟装置，通过对输入脉冲信号的延迟调节控制PZT晶体致动器驱动电源与晶体管式脉冲电源信号的相位差，实现电火花同步加工。

2.一种权利要求1所述PZT同步激励压缩放电通道的微细电火花加工装置进行电火花加工的方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将工件固定在电火花加工机床的工作台上，注入工作液，使工件浸在工作液中，将PZT晶体致动器安装在电火花加工机床的直线运动轴上，直线运动轴带动PZT晶体致动器及其上的电极进给，使电极与工件之间具有合适的放电间隙；

（2）打开晶体管式脉冲电源，电火花加工机床上的脉冲信号发生及放大装置上电后发出矩形波脉冲，一路脉冲信号经过隔离、放大后通过晶体管式脉冲电源中的场效应管MOSFET来控制放电回路的导通与关断；另一路脉冲信号经过控制器的相位调节后到达PZT晶体致动器驱动电源并使之上电，PZT晶体驱动电源把高频率的脉冲电压输出给PZT晶体，PZT晶体材料迅速伸长，同时晶体管式脉冲电源中的MOSFET导通，电极和工件构成闭合回路，电极间开始瞬时放电，放电通道形成，MOSFET关断，脉冲结束，PZT晶体致动器中的PZT晶体缩回初始位置，完成一次脉冲放电；整个过程中通过控制器的脉冲信号相位调节作用达到脉冲和高频振动的同步，然后晶体管式脉冲电源再次发出脉冲信号，PZT晶体驱动器带动电极重新进给，进行下一次脉冲放电，如此周而复始；

（3）当电极与工件的间隙大于放电间隙时，即无火花放电现象，将直线运动轴向下进给1μm，如此往复，直到电极穿透工件为止。