[发明专利]一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置

权利要求书

1.一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置，在基台(1)Y方向两端部位处设置曝光工位(2)和预处理工位(3)，沿基台(1)两侧长边上对应分别设置Y向长行程直线运动单元(5)，在曝光工位(2)和预处理工位(3)上分别设置X向第一长行程直线运动单元(6)和X向第二长行程直线运动单元(7)，第一工件台(4a)和第二工件台(4b)可分离地分别配装在X向第一长行程直线运动单元(6)和X向第二长行程直线运动单元(7)上，X向第一长行程直线运动单元(6)和X向第二长行程直线运动单元(7)分别与Y向长行程直线运动单元(5)成H型配置，且可以由Y向长行程直线运动单元(5)驱动，第一工件台(4a)和第二工件台(4b)分别运行于曝光工位(2)和预处理工位(3)，在两个Y向长行程直线运动单元(5)上分别设置有与第一工件台(4a)配套的第一线缆台(8a)以及与第二工件台(4b)配套的第二线缆台(8b)，在基台(1)四周装有激光干涉仪(9a、9b、9c、9d、9e、9f、9g、9h)；其特征在于：在曝光工位(2)和预处理工位(3)之间设置安装一个回转换台装置(10)，回转换台装置(10)机械结构包括设置于基台(1)之下的旋转电机定子(10a)、旋转电机动子(10b)、回转换台齿轮(10c)以及旋转连接件(10d)；在第一工件台(4a)腰部设置第一工件台旋转环套(11a)，在侧面底部设置第一工件台转接装置(12a)，腰部设置第一工件台齿轮(13a)；在第二工件台(4b)腰部设置第二工件台旋转环套(11b)，在侧面底部设置第二工件台转接装置(12b)，腰部设置第二工件台齿轮(13b)；第一工件台旋转环套(11a)与第一工件台(4a)的接触环面为静压气浮轴承，且可做相对旋转运动，第一工件台旋转环套(11a)与回转换台装置(10)的旋转连接件(10d)对接或分离配合；第二工件台旋转环套(11b)与第二工件台(4b)的接触面为气浮环面，且可做相对旋转运动，第二工件台旋转环套(11b)与回转换台装置(10)的旋转连接件(10d)对接或分离配合；第一工件台旋转环套(11a)在第一工件台齿轮(13a)上方，第二工件台旋转环套(11b)在第二工件台齿轮(13b)上方；回转换台齿轮(10c)、第一工件台齿轮(13a)以及第二工件台齿轮(13b)的齿数、分度圆直径均相等，回转换台齿轮(10c)与第一工件台齿轮(13a)之间的传动比为-1，回转换台齿轮(10c)与第二工件台齿轮(13b)之间的传动比为-1；在第一工件台旋转环套(11a)、第二工件台旋转环套(11b)与旋转连接件(10d)对接后，回转换台齿轮(10c)分别与第一工件台齿轮(13a)、第二工件台齿轮(13b)处于啮合状态；与第一工件台(4a)配套的第一线缆台(8a)承载第一工件台(4a)的线缆，第一线缆台(8a)可滑动的配装在Y向第一静压气浮导轨(5c)上，由Y向U型槽式第一直线电机(5a)驱动，在Y方向上始终与第一工件台(4a)保持相对静止；与第二工件台(4b)配套的第二线缆台(8b)承载第二工件台(4b)的线缆，第二线缆台(8b)可滑动的配装在Y向第二静压气浮导轨(5d)上，由Y向U型槽式第二直线电机(5b)驱动，在Y方向上始终与第二工件台(4b)保持相对静止。