[发明专利]正型光敏树脂组合物，使用其制备的光敏树脂膜，以及包括该光敏树脂膜的半导体器件

权利要求书

1.一种正型光敏树脂组合物，包括：

(A)碱溶性树脂；

(B)酚醛树脂，包括由以下化学式6表示的重复单元；

(C)光敏性重氮醌化合物；

(D)硅烷化合物；以及

(E)溶剂，

[化学式6]

其中，在化学式6中，

每个重复单元中的R⁷是相同的或不同的，并且各自独立地是取代的或未取代的C1至C20脂肪族有机基团，

基于所述酚醛树脂中包括的重复单元中总量100mol％的R⁷，50mol％或更多的R⁷位于相对于羟基基团(OH)的间位。

2.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，基于所述酚醛树脂中包括的重复单元中总量100mol％的R⁷，60mol％或更多的R⁷位于相对于羟基基团(OH)的间位。

3.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，基于所述酚醛树脂中包括的重复单元中总量100mol％的R⁷，90mol％或更多的R⁷位于相对于羟基基团(OH)的间位和对位。

4.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，在所述酚醛树脂中包括的重复单元中，位于相对于羟基基团(OH)的间位的R⁷(R⁷_m)和位于相对于羟基基团(OH)的对位的R⁷(R⁷_p)以5∶5至10∶0的摩尔比率存在。

5.根据权利要求4所述的正型光敏树脂组合物，其中，在所述酚醛树脂中包括的重复单元中，位于相对于羟基基团(OH)的间位的R⁷(R⁷_m)和位于相对于羟基基团(OH)的对位的R⁷(R⁷_p)以6∶4至9∶1的摩尔比率存在。

6.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述酚醛树脂进一步包括由以下化学式40表示的重复单元：

[化学式40]

7.根据权利要求6所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述酚醛树脂以30∶70至90∶10的摩尔比包含由上述化学式6表示的重复单元和由上述化学式40表示的重复单元。

8.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述酚醛树脂具有1,000g/mol至10,000g/mol的数均分子量(Mn)。

9.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述碱溶性树脂是聚苯并噁唑前体。