[发明专利]一种金属薄膜镀层结合质量检测方法

权利要求书

1.一种金属薄膜镀层结合质量的检测方法，其特征在于，包括，

使用维氏硬度计对待测试样品进行压痕加载；

将观察到的压痕点的镀层形貌与参考图谱进行比对，评定镀层结合质量级别。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在使用维氏硬度计对待测试样品进行压痕加载之前，还包括，

进行待测试样品洁净处理后，将待测试样品进行支撑固定。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在进行压痕加载时，根据镀层厚度选择不同的载荷，设置的负荷应达到压痕深度能穿透镀层且压痕深度小于样品总厚度的1/10。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述压痕为正四棱锥压痕。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在该测试样品上至少加载5个压痕，每个压痕的间距要大于5个压痕的对角线长度，每个压痕距离样品边缘的距离要大于5个压痕的对角线长度。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，使用光学显微镜观察压痕，将观察到的压痕点的镀层形貌与参考图谱进行比对。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，若各个压痕位置的镀层结合质量均在4级以上，样品判为合格；否则，判定为不合格。