[发明专利]一种加速CMP仿真的方法和装置

权利要求书

1.一种加速CMP仿真的方法，其特征在于，包括：

步骤1，将物理版图划分为若干区域；

步骤2，利用几何同构将所述若干区域内的图形划分为不同的几何同构序列；

步骤3，选取几何同构序列中的一个区域内的图形进行CMP仿真；

步骤4，根据仿真数据对几何同构序列中的其他区域内的图形进行复用。

2.如权利要求1所述的加速CMP仿真的方法，其特征在于，步骤1包括：

步骤10，将金属层号相同的图形放在同一个集合内；

步骤11，对同一个集合内的图形划分为Nrow行和Ncol列的区域，Nrow和Ncol均为正整数；最小单位的方格为内区域；

步骤12，将内区域往外拓展至临近的掩膜图形得到的方格做为外区域。

3.如权利要求2所述的加速CMP仿真的方法，其特征在于，步骤2包括：

步骤20，对各外区域内的图形进行坐标变换并排序；

步骤21，对各外区域内的图形进行几何同构以构造几何同构序列；

步骤22，以几何同构序列中的第一个外区域内的图形构造待仿真区域序列。

4.如权利要求3所述的加速CMP仿真的方法，其特征在于，步骤4包括：对每一几何同构序列, 根据几何同构序列中的第一个外区域的图形与几何同构序列中的其他区域内的图形之间的几何变换关系，复用第一个外区域的图形的仿真计算结果；几何变换包括旋转变换、轴对称变换和平移变化。

5.如权利要求3所述的加速CMP仿真的方法，其特征在于，步骤20中，根据坐标变换后的坐标值对图形进行排序。

6.如权利要求5所述的加速CMP仿真的方法，其特征在于，步骤21中，几何同构包括直接几何同构和间接几何同构；若两个图形的坐标相同则为直接几何同构，若两个图形的坐标经过镜像和/或旋转之后的坐标相同则为间接几何同构。

7.如权利要求3所述的加速CMP仿真的方法，其特征在于，步骤3中，以外区域内的图形为仿真目标，但仅生成内区域内的图形的CMP仿真结果；

步骤4中，复用内区域内的图形的CMP仿真结果。

8.一种加速CMP仿真的装置，其特征在于，包括：

物理版图区域划分单元，用于将物理版图划分为若干区域；

图形几何同构单元，用于利用几何同构将所述若干区域内的图形划分为不同的几何同构序列； 

CMP仿真单元，用于选取几何同构序列中的一个区域内的图形进行CMP仿真；

复用单元，用于根据仿真数据对几何同构序列中的其他区域内的图形进行复用。