[发明专利]控制器、光刻设备、控制物体位置的方法及器件制造方法

权利要求书

1.一种控制器，配置成控制用以控制定位装置内的物体的位置的致动器系统，其中所述致动器系统包括布置用以作用在所述物体上的多个致动器；

其中所述控制器包括处理器，所述处理器配置成使用增益平衡矩阵以将表示期望施加至物体的重心的一组力的第一控制信号转换成表示通过所述多个致动器提供的等价的一组力的第二控制信号；和

所述处理器配置成使得至少在第一控制信号处于第一频带内时使用第一增益平衡矩阵，并且至少在第一控制信号处于第二频带内时使用第二增益平衡矩阵。

2.如权利要求1所述的控制器，其中，所述处理器配置成：

将第一增益平衡矩阵应用至第一控制信号以提供第一中间控制信号；

将第二增益平衡矩阵应用至第一控制信号以提供第二中间控制信号；和

根据第一控制信号的频率在第一和第二中间控制信号之间切换，以便提供所述第二控制信号。

3.如权利要求1或2所述的控制器，其中，所述处理器配置成：

将第一增益平衡矩阵应用至第一控制信号以提供第一中间控制信号；

将差分增益平衡矩阵应用至第一控制信号以提供第二中间控制信号，所述差分增益平衡矩阵是第一和第二增益平衡矩阵之间的差；

应用滤波器至第二中间控制信号以提供第三中间控制信号，所述滤波器配置成使所述第二频带内的信号通过；和

对第一和第三中间控制信号求和，以提供所述第二控制信号。

4.如权利要求1或2所述的控制器，其中，所述处理器配置成：

将第一增益平衡矩阵应用至第一控制信号以提供第一中间控制信号；

将第二增益平衡矩阵应用至第一控制信号以提供第二中间控制信号；

将滤波器应用至第一中间控制信号以提供第三中间控制信号，所述滤波器配置成使具有除所述第二频带以外的频率的信号通过；

将第二滤波器应用至第二中间控制信号以提供第四中间控制信号，所述第二滤波器配置成使在所述第二频带内的信号通过；和

对第二和第四中间控制信号求和，以提供所述第二控制信号。

5.如前述权利要求中任一项所述的控制器，其中，所述第二频带包括所述物体的共振频率。

6.如权利要求5所述的控制器，其中，所述共振频率对应于所述物体的扭转振动模式和所述物体的鞍状振动模式中的一个。

7.如前述权利要求中任一项所述的控制器，其中，所述处理器配置成使得在第一控制信号处于与所述第一频带和所述第二频带不同的相关频带时至少使用第三增益平衡矩阵。

8.如权利要求7所述的控制器，其中，在所述第一控制信号不处于与另一增益平衡矩阵相关的频带内时使用第一增益平衡矩阵。

9.如前述权利要求中任一项所述的控制器，其中，所述第一增益平衡矩阵被选择成提供在所述物体是刚性体的情形中在第一控制信号和第二控制信号之间必要的关系。

10.如前述权利要求中任一项所述的控制器，其中，所述处理器还配置成使用增益调度矩阵以将表示相对于基本上惯性的参考物作用在所述物体上的所需要的力的输入控制信号转换成所述第一控制信号。

11.如前述权利要求中任一项所述的控制器，其中，由所述致动器系统的控制中的反馈回路得出所述第一控制信号。

12.如权利要求1-10中任一项所述的控制器，其中，由所述致动器系统的控制中的前馈路径得出所述第一控制信号。

13.如权利要求11所述的控制器，其中，所述处理器还配置成使用附加的第三控制信号以生成所述第二控制信号；

其中，所述第三控制信号表示由致动器系统的控制中的前馈路径得出的期望被施加至物体的重心的一组力。