[发明专利]钨钛合金靶坯及靶材的制造方法有效

专利信息
申请号: 201110382822.7 申请日: 2011-11-25
公开(公告)号: CN102400004A 公开(公告)日: 2012-04-04
发明(设计)人: 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料有限公司
主分类号: C22C1/04 分类号: C22C1/04;C22C27/04;B22F3/16;C23C14/14;C23C14/34
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 315400 浙江省宁波市余姚*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 钛合金 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,包括:

在模具中装入混合钨钛粉末;

进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺,将所述模具中的钨钛粉末制成钨钛合金靶坯毛料,所述真空热压烧结工艺的参数为:真空度小于或等于100Pa,压力为20~30MPa、烧结温度为1300~1600℃,烧结时间为3~12h。

2.如权利要求1所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,所述真空热压烧结工艺包括:

在所述冷压成型工艺后,将装有钨钛粉末的模具置于真空热压炉;

对所述真空热压炉抽真空,再进行热压烧结。

3.如权利要求2所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,所述热压烧结包括:将所述真空热压炉升温至900~1200℃,加压至0.8~1.5MPa,保温保压0.5~1h,继续将所述真空热压炉升温至烧结温度1300~1600℃,加压至20~30MPa,保温保压1~3h;撤压继续保温1~2h。

4.如权利要求1所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,所述冷压成型工艺的压力为3~7MPa。

5.如权利要求1~4任一项所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,还包括:在真空热压烧结后对装有钨钛合金靶坯毛料的模具进行冷却。

6.如权利要求5所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,所述冷却的温度为小于或等于300℃。

7.如权利要求6所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,还包括:在冷却后去除所述模具,对所述钨钛合金靶坯毛料进行机加工。

8.如权利要求1所述的钨钛合金靶坯的制造方法,其特征在于,所述混合钨钛粉末为10%的钛粉和90%的钨粉。

9.一种钨钛合金靶材的制造方法,其特征在于,包括:

采用权利要求7所述的钨钛合金靶坯的制造方法获得钨钛合金靶坯;

将所述钨钛合金靶坯与背板进行焊接。

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