[发明专利]溅射靶材包装箱

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造靶材的包装领域，尤其涉及溅射靶材包装箱。

背景技术

为了防止运输过程中物件被损坏，通常要对物件进行包装，各类包装容器广泛的应用于各行各业，例如，用于装瓶的纸板木箱、塑料周转箱、塑料周转筐；用可移去的覆盖层来包装物件；用带绳或金属线对建筑块料及其他物件的捆扎包装等。

在半导体制造溅射靶材的包装领域中，现有的溅射靶材包装一般采用中空箱等普通箱体包装，溅射靶材包装箱一般采用纸质或是塑料材料。不论采用纸质还是塑料材料，现有的溅射靶材包装箱都存在强度较低，容易变形的问题，只适用于对普通靶材进行包装。当运输面积较大、且较薄的大型溅射靶材时，此溅射靶材包装箱起不到保护作用，因为，在搬运过程中，当此包装箱受外力作用时，用现有的溅射靶材包装箱包装大型溅射靶材，大型溅射靶材很容易受力不均，引发很多问题，例如，大型溅射靶材会从破损的普通包装箱缝隙中滑出、或者大型溅射靶材在破损的包装箱内发生碰伤、或者破损的包装箱使靶材在运输过程中变形，即货损率和包装运输成本高。而且应用现有的对靶材包装箱对大型溅射靶材进行包装，此溅射靶材包装箱的强度不能够支持对大型溅射靶材进行叠放，因此会对存放靶材的空间造成浪费或者受到场地的限制不能存放更多的靶材。

例如，有关靶材的包装箱可以参考授权公告号为CN201231873Y的中国实用新型，它只是提供了一种包装箱，不能解决在运输过程中包装箱容易破损，从而使大型溅射靶材受损的问题，即无法对大型溅射靶材起到很好的保护作用，同样，该实用新型所述包装箱会造成存放空间浪费或受场地限制的问题

发明内容

本发明解决的技术问题是大型溅射靶材在运输过程中包装箱容易出现破损，从而易使大型溅射靶材受损的问题。另外，本发明也解决现有的包装箱造成存放空间浪费或受场地限制的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种溅射靶材包装箱，包括：

围箱，包括首尾相连并一体成型的侧板，所述侧板围成一容纳空间；

位于所述容纳空间内的护体，所述护体的两侧支撑在所述侧板上；

放置所述护体上并位于所述围箱中的底板；

置于所述围箱顶部的盖板，所述盖板为框架式，所述盖板的每个边框设有锁扣孔或者锁扣；对应的，所述侧板设有与所述盖板的所述锁扣孔或者锁扣相配合的锁扣或者锁扣孔。

可选的，所述护体通过螺连、焊接或是捆绑的方式固定在所述侧板上。

可选的，所述护体为护条、护管、护网或者护板；所述护体的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

可选的，另包括底座，所述底座至少包括两个相隔离的工字钢。

可选的，所述围箱的材料为金属或塑料。

可选的，所述围箱的侧板为长方形、正方形或环形。

可选的，每个边框上设置的锁扣孔或者锁扣的数目为3～6个。

可选的，所述底板为长方形、正方形或圆形。

可选的，所述底板的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

可选的，所述盖板包括盖板框、固定连接在盖板框之间的盖板护体和覆盖在盖板护体上的盖板片。

可选的，所述盖板护体为护条、护管、护网或者为护板；所述盖板护体采用的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

可选的，所述盖板为长方形、正方形或圆形。

可选的，所述盖板边框的外侧边缘长度与所述围箱顶部内侧边缘长度相等。

与现有技术相比，本发明提供的溅射靶材包装箱，一体成型的围箱设计可以使箱体不因受外界外力的挤压或冲击而产生形变，降低靶材的受损率。

本发明提供的溅射靶材包装箱，围箱内设置护体，而且该护体的两侧支撑在所述侧板上，能够给大型溅射靶材以支持力，增加溅射靶材包装箱的强度，使大型溅射靶材不会因为在搬运过程中着力不均匀而变形，保证靶材在搬运途中的质量安全性，减少货损率和降低靶材运输成本。

本发明提供的溅射靶材包装箱，所述盖板边框的锁扣孔与相邻所述围箱侧板上的锁扣咬合或者所述盖板边框的锁扣与相邻所述围箱侧板上的锁扣孔咬合，可以有效固定大型溅射靶材包装箱的盖板和箱体的连接，可以防止大型溅射靶材在搬运途中滑出箱体和可以防止大型溅射靶材在搬运途中撞伤。同时，此溅射靶材包装箱上的锁扣孔与锁扣的咬合设计还可以多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活。