[发明专利]镍靶坯及靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201110383245.3 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102398035A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镍靶坯 制造 方法 | ||
1.一种镍靶坯的制造方法，其特征在于，包括：
在模具中装入镍粉；
进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的镍粉制成镍靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度大于或等于2×10-3Pa，压力大于或等于30MPa、烧结温度为1000～1200℃，烧结时间为3～5h。
2.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述真空热压烧结工艺包括：
在所述冷压成型工艺后，将装有镍粉的模具置于真空热压炉；
对所述真空热压炉抽真空，再进行热压烧结。
3.如权利要求2所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述热压烧结包括：将所述真空热压炉升温至烧结温度1000～1200℃，然后开始加压，加压至30MPa以上后，保温保压1～2h；撤压，继续保温2～3h。
4.如权利要求3所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，还包括：在所述热压烧结前，将抽真空后的真空热压炉加热至800～850℃，保温1～1.5h。
5.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述冷压成型工艺的压力为0.5MPa～1MPa。
6.如权利要求1～5任一项所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，还包括：在真空热压烧结后对装有镍靶坯毛料的模具进行冷却。
7.如权利要求6所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述冷却的温度为小于或等于200℃。
8.如权利要求6所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，还包括：在冷却后去除所述模具，对所述镍靶坯毛料进行机加工。
9.如权利要求1所述的镍靶坯的制造方法，其特征在于，所述镍粉为纯度大于或等于4N的镍粉。
10.一种镍靶材的制造方法，其特征在于，包括：
采用权利要求8所述的镍靶坯的制造方法获得镍靶坯；
将所述镍靶坯与背板进行焊接。
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