[发明专利]涂布显影装置无效
| 申请号： | 201110386760.7 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102445840A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 何伟明;邢精成 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/36 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种涂布显影装置，其特征在于，包括机械手臂、悬挂架和若干涂布喷嘴，所述悬挂架的一端可旋转的设于所述机械手臂上，所述悬挂架的另一端设有圆环形的安装槽，所述若干涂布喷嘴包括嘴头和相对于嘴头的底端，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽连接。
2.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，所述悬挂架上可旋转的设于所述机械手臂上的一端的旋转轴通过所述安装槽的圆心。
3.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，所述若干涂布喷嘴与所述悬挂架上可旋转的设于所述机械手臂上的一端的旋转轴平行。
4.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置与悬挂架相连，并驱动所述悬挂架的一端旋转。
5.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，还包括涂布显影机，所述涂布显影机与所述若干涂布喷嘴相连。
6.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽之间固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110386760.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：指纹防伪装置及其方法
- 下一篇：自对准光刻的方法
