[发明专利]掩膜板缺陷检测装置

权利要求书

1.一种掩膜板缺陷检测装置，包括：

光源投射装置，包括光源和透镜，该光源用于发出光束并经透镜投射到掩膜板上；

检测系统，包括多个光强检测器，用于测算掩膜板对该光束的反射率和透射率中的至少一个，并与预先建立的检测基准作比较。

2.如权利要求1所述的掩膜板缺陷检测装置，其特征在于，所述光强检测器为三个，分别为第一、第二、第三光强检测器，所述光源投射装置还包括一个分光镜，位于该光束入射光路上，该分光镜将光束分出一部分，所述第一光强检测器位于该分光镜分出光束的光路上，所述第二、第三光强检测器分别位于剩余部分光束入射到掩膜板后的反射光路和透射光路上。

3.如权利要求1至2中任一项所述的掩膜板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源投射装置还包括一个入射角度调节机构，用于调节光束的入射角度。

4.如权利要求1所述的掩膜板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源为可调谐激光器发出的激光。

5.如权利要求4所述的掩膜板缺陷检测装置，其特征在于，所述可调谐激光器发出的激光波长为157nm、193nm、248nm或257nm。

6.如权利要求1所述的掩膜板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源为卤素光源。

7.如权利要求6所述的掩膜板缺陷检测装置，其特征在于，所述卤素光源发出的光束通过滤光片调整波长范围为120nm至800nm。