[发明专利]一种水溶性铜缓蚀剂的制备方法无效
| 申请号： | 201110390939.X | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103132081A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 邢献军;陈天河;马培勇;雷妮;林蔷 | 申请（专利权）人： | 安徽省蓝天化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 水溶性 铜缓蚀剂 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种水溶性铜缓蚀剂的制备方法，其特征是：由苯并三氮唑、甲基苯丙三氮唑和复合有机胺以一定比例构成的复合水溶性铜缓蚀剂。
2.根据权利要求1所述的一种水溶性铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于所述苯并三氮唑与甲基苯丙三氮唑组成的混合物和复合有机胺溶液的质量配比为：5-15∶95-85复合的一种。
3.根据权利要求2所述的苯并三氮唑与甲基苯丙三氮唑组成的混合物，其特征在于苯并三氮唑与甲基苯丙三氮唑的质量配比为：40-70∶60-30复合的一种。
4.根据权利要求2所述的复合有机胺，其特征在于是为三乙醇胺和二异丙胺的混合物，质量配比为：30-60∶70-40复合的一种。
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