[发明专利]光学测量装置和光学测量方法无效

专利信息
申请号: 201110391018.5 申请日: 2011-11-30
公开(公告)号: CN102565005A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 濱田基明 申请(专利权)人: 株式会社堀场制作所
主分类号: G01N21/55 分类号: G01N21/55;G01N21/59;G01N21/25;G01B11/06
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 李雪春;武玉琴
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 光学 测量 装置 测量方法
【权利要求书】:

1.一种光学测量装置,其特征在于包括:

第一反射光测量光学系统,对试样照射光并利用积分球使来自所述试样的第一反射光聚光;

第二反射光测量光学系统,对所述试样照射光并利用所述积分球使来自所述试样的第二反射光聚光;以及

检测光学系统,对利用所述积分球聚光后的光进行检测;

基于通过所述第一反射光测量光学系统和所述检测光学系统得到的第一反射光、以及通过所述第二反射光测量光学系统和所述检测光学系统得到的第二反射光,求出全反射光和散射反射光,根据所述全反射光和散射反射光计算出反射雾度,并且根据所述全反射光计算出所述试样的膜厚。

2.根据权利要求1所述的光学测量装置,其特征在于,所述第一反射光为全反射光,所述第二反射光为散射反射光。

3.根据权利要求1或2所述的光学测量装置,其特征在于,

所述积分球具有第一开口部和第二开口部,所述第一开口部设置在朝向试样的位置上,所述第二开口部设置在与所述第一开口部相对的位置上,

由通用的反射测量光学系统构成所述第一反射光测量光学系统和所述第二反射光测量光学系统,所述反射测量光学系统从所述第二开口部通过所述第一开口部对所述试样照射反射测量用的光,

所述光学测量装置还包括第一反射构件,所述第一反射构件能使所述第二开口部打开或关闭,

在反射测量中,所述第一反射构件能在开放位置和中间位置之间移动,所述开放位置为使所述第二开口部开放的位置,所述中间位置为封闭所述第二开口部的一部分、且使来自所述反射测量光学系统的光照射所述试样并使来自所述试样的正反射光反射到积分球内的位置。

4.根据权利要求3所述的光学测量装置,其特征在于还包括:

透射测量光学系统,从与所述积分球相反一侧朝向所述第一开口部对所述试样照射透射测量用的光;以及

第二反射构件,能使所述第二开口部打开或关闭;

在透射测量中,所述第二反射构件能在使所述第二开口部开放的开放位置、以及封闭所述第二开口部整体的封闭位置之间移动。

5.根据权利要求3或4所述的光学测量装置,其特征在于,连续进行所述试样的反射测量和透射测量。

6.根据权利要求3、4或5所述的光学测量装置,其特征在于,在所述反射测量中,进行全反射率、散射反射率和反射雾度的测量,在所述透射测量中,进行全透射率、散射透射率和透射雾度的测量。

7.根据权利要求3、4或5所述的光学测量装置,其特征在于,在所述反射测量中,当测量全反射率时,所述第一反射构件位于中间位置,当测量散射反射率时,所述第一反射构件位于开放位置。

8.一种光学测量方法,是采用光学测量装置的光学测量方法,所述光学测量装置包括:积分球,具有设置在朝向试样位置上的第一开口部、设置在与所述第一开口部相对位置上的第二开口部、以及设置在与所述第一、第二开口部不同位置上的受光用开口部;反射测量光学系统,从所述第二开口部通过所述第一开口部对所述试样照射反射测量用的光;透射测量光学系统,从与所述积分球相反一侧朝向所述第一开口部对所述试样照射透射测量用的光;以及反射构件,能使所述第二开口部打开或关闭;所述光学测量方法的特征在于,

在反射测量中,使所述反射构件在开放位置和中间位置之间移动,所述开放位置为使所述第二开口部开放的位置,所述中间位置为封闭所述第二开口部的一部分、且使来自所述反射测量光学系统的光照射所述试样并使来自所述试样的正反射光反射到积分球内的位置,

在透射测量中,使所述反射构件在所述开放位置和封闭所述第二开口部整体的封闭位置之间移动。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社堀场制作所,未经株式会社堀场制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110391018.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top