[发明专利]靶材结构的制作方法有效
| 申请号： | 201110391277.8 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102586742A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 潘杰;姚力军;王学泽;潘靖 | 申请（专利权）人： | 余姚康富特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C18/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 制作方法 | ||
1.一种靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：
提供靶材，所述靶材为钼或钼合金；
对所述靶材的待焊接面进行喷砂工艺；
对所述靶材的待焊接面进行活化处理；
对所述靶材的待焊接面进行引镀处理；
利用化学镀工艺，在引镀处理后的靶材的待焊接面上形成金属镀层；
将化学镀处理后的靶材焊接至背板。
2.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，在对所述靶材的待焊接面进行喷砂工艺之前还包括抛光所述靶材的待焊接面的步骤。
3.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，对所述靶材的待焊接面进行活化处理的活化剂是体积百分比浓度为20％～40％的硝酸溶液。
4.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，对所述靶材的待焊接面进行活化处理时间为20s～40s。
5.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，对所述靶材的待焊接面进行引镀处理包括：
提供金属件，所述金属件能将锌置换出来；
将所述金属件进行酸洗处理；
将酸洗处理后的所述金属件进行浸锌处理；
将浸锌处理后的所述金属件与所述靶材的待焊接面进行摩擦。
6.根据权利要求5所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述酸洗处理的酸洗处理剂为氢氟酸、硝酸和水的混合物，其中，氢氟酸∶硝酸∶水的体积比为(1∶3∶4)～(3∶5∶4)。
7.根据权利要求5所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述酸洗处理时间为30s～40s。
8.根据权利要求5所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述浸锌处理时间为50s～70s。
9.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述化学镀的施镀时间为60min～80min。
10.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述化学镀的化学镀液的温度为86℃～90℃。
11.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述化学镀的化学镀液的pH值为4.6～4.8。
12.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述化学镀的金属镀层的厚度为6μm～10μm。
13.根据权利要求12所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述金属镀层的材料为镍。
14.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述背板材料包括铜、铝、含有铜或铝的合金。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于余姚康富特电子材料有限公司，未经余姚康富特电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110391277.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
