[发明专利]超薄面板制造系统

权利要求书

1.一种超薄面板制造系统，其特征在于，包含如下步骤：

在碱性溶液中初步洗涤显示面板；

竖直地放置完成所述初步洗涤的显示面板，使包含F+离子的蚀刻溶液流过，以进行使厚度变薄的蚀刻；

最终洗涤完成所述蚀刻的显示面板；

检查完成所述最终洗涤的显示面板的表面；

测量完成所述表面检查的显示面板的厚度；以及

在完成所述厚度测量的显示面板上附着保护薄膜，

其中，所述蚀刻步骤中，控制显示面板的厚度蚀刻速度，用以控制表面粗糙度。

2.根据权利要求1所述的超薄面板制造系统，其特征在于，在所述初步洗涤步骤之后，在所述显示面板的一个面上附着掩膜，以在所述蚀刻步骤中进行仅对显示面板的单个面进行蚀刻的单面蚀刻；在蚀刻步骤和最终洗涤步骤之间还包含将所述掩膜浸泡在水中进行剥离的步骤。

3.根据权利要求2所述的超薄面板制造系统，其特征在于，在所述单面蚀刻中，针对单面附着有所述掩膜的两个显示面板，相互接合附着有所述掩膜的表面，以使两个显示面板同时进行单面蚀刻。

4.根据权利要求1或者3所述的超薄面板制造系统，其特征在于，所述最终洗涤的步骤中用蒸馏水喷射洗涤显示面板。

5.根据权利要求1或者3所述的超薄面板制造系统，其特征在于，所述检查显示面板的表面的步骤中使用影像来检查是否有划痕。

6.根据权利要求5所述的超薄面板制造系统，其特征在于，所述测量显示面板的厚度的步骤中，通过利用激光束的自动测量厚度装置来以非接触方式测量显示面板的厚度，并用真空吸盘将所述显示面板紧贴在工作台来进行测量。

7.根据权利要求6所述的超薄面板制造系统，其特征在于，所述在显示面板上附着保护薄膜的步骤中，将涂覆有粘结剂的、3至30μm厚度的透明树脂薄膜附着在显示面板的单面或者双面上。

8.根据权利要求1所述的超薄面板制造系统，其特征在于，所述蚀刻的步骤中，针对显示面板的厚度的蚀刻速度以21μm/分为上限，以控制表面粗糙度。