[发明专利]一种氦气循环冷却系统

权利要求书

1.一种氦气循环冷却系统，其特征在于，包括：氦气瓶、过滤减压单元、低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备、待冷却设备和换热器，其中：

所述氦气瓶的输出端经过所述过滤减压单元与低压缓冲设备氦气补给输入侧连接；

所述换热器的冷气输出端与低压缓冲设备循环气体输入侧连接；

所述低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备依次连接对氦气并依次进行相应处理；

所述待冷却设备热氦气输出端与所述换热器的气体输入端连接。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述氦气瓶设有两个，分别为第一氦气瓶和第二氦气瓶，所述第一氦气瓶和第二行氦气瓶气体输出端口分别与一过滤减压单元连接，其中一个氦气瓶进行当前供气，另一个备用。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述过滤减压单元具体为按照氦气从所述氦气瓶中输出的方向依次连接的减压阀、压力表和过滤器。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：连接于所述低压缓冲设备与所述增压装置之间的压力传感器。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，还包括：按照氦气从所述过滤减压单元到所述低压缓冲设备氦气补给输入侧的方向，在所述过滤减压单元和所述低压缓冲设备之间依次连接的补气阀和单向阀。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述补气阀具体为气动阀。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：按照氦气从所述高压缓冲设备到所述待冷却设备输入侧的方向，依次连接于所述高压缓冲设备与所述待冷却设备之间的质量流量计和气动阀。

8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，还包括与所述质量流量计和气动阀组合并联的备用气动阀。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述增压装置为增压泵。

10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述低压缓冲设备和所述高压缓冲设备具体为低压缓冲罐和高压缓冲罐。