[发明专利]一种微细电铸装置

权利要求书

1.一种微细电铸装置，包括电铸槽、阳极单元、阴极单元、箱体、进液口及出液口，其特征在于，所述电铸槽设于箱体内上部，电铸槽为圆筒状，电铸槽上部设有中空圆柱状进液轴，进液轴与动力装置连接，在动力装置带动下，进液轴带动电铸槽作旋转运动，进液轴上端为进液口；所述阳极单元包括设于电铸槽内的阳极以及与电铸槽下端部固定连接的辅助阳极；所述阴极单元包括承片台，承片台上设有芯模，芯模与辅助阳极对应设置；所述阴极单元下端连接有阴极往复运动单元。

2.如权利要求1所述的微细电铸装置，其特征在于，所述阴极往复运动单元包括与承片台连接的支承轴，支承轴下端设有滚轮，滚轮与下方的凸轮传动连接，凸轮的轮廓曲线由一同心等径圆弧和一椭圆弧构成。

3.如权利要求1或2所述的微细电铸装置，其特征在于，所述辅助阳极通过辅助阳极固定座固定于电铸槽下端，辅助阳极为网孔状，孔形为圆形、正六边形、正方形或长方形，孔直径或边长为50～100μm。

4.如权利要求3所述的微细电铸装置，其特征在于，所述辅助阳极为惰性金属网。

5.如权利要求4所述的微细电铸装置，其特征在于，所述芯模与承片台之间设有垫片。

6.如权利要求5所述的微细电铸装置，其特征在于，所述电铸槽上设有节流阀；所述箱体中部设有隔板，隔板将箱体内部分为上下两部分，电铸槽、阳极单元及阴极单元位于箱体内上部，阴极往复运动单元位于箱体内下部，箱体内下部设有储液槽，储液槽与箱体内上部通过连通道连通，所述出液口设于储液槽上。

7.如权利要求6所述的微细电铸装置，其特征在于，所述支承轴外部设有连接承片台底部与隔板的遮液罩，遮液罩外侧的隔板上设有挡板。

8.如权利要求7所述的微细电铸装置，其特征在于，所述凸轮的等径圆弧面部分设有通孔。