[发明专利]大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置无效
| 申请号： | 201110393752.5 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102573264A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李兵;王超;姜涛;蒋勋;赵会娜 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大气 压下 开放式 单极 射频 低温 等离子体 发生 装置 | ||
【权利要求书】：
1.大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，其特征在于：包括依次相连的用于提供射频功率输出的射频电源(1)、测量并显示前向和反射功率的双向功率表(2)、实现整个系统阻抗匹配的阻抗匹配网络(3)和电极接头(4)，金属电极(5)安装在电极接头(4)上，金属电极(5)采用单放电端电极或者多放电端电极，且金属电极为圆柱形电极，其直径为0.2mm～1.5mm，金属电极分为绝缘部分(5-1)和放电部分(5-2)，在金属电极(5)的末端设置有气体供给系统，放电部分绝缘部分(5-1)外周涂有绝缘涂层，绝缘涂层的厚度为0.01mm～0.1mm，放电部分(5-2)裸漏在空气中，发生放电产生等离子体，所产生等离子体围绕着电极呈圆柱状。
2.根据权利要求1所述的大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，其特征在于：所述的阻抗匹配网络(3)采用L型匹配网络。
3.根据权利要求1所述的大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，其特征在于：所述的气体供给系统提供的气体为氦气，氦气在金属电极的末端放电部分与空气混合形成放电工作气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110393752.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抑制瘢痕的有效部位群及其制备方法
- 下一篇：一种高效的LED照明控制系统
