[发明专利]一种空间行波管收集极内芯及其制作工艺

权利要求书

1.一种空间行波管收集极内芯，包括无氧铜内芯本体(1)，其特征在于：在所述无氧铜内芯本体(1)上设有黑铬层(2)。

2.按照权利要求1所述的空间行波管收集极内芯，其特征在于：所述黑铬层(2)电镀于所述无氧铜内芯本体(1)上。

3.按照权利要求2所述的空间行波管收集极内芯，其特征在于：所述无氧铜内芯本体(1)为边缘设有弹性花瓣槽(3)的圆盘结构。

4.按照权利要求3所述的空间行波管收集极内芯，其特征在于：所述黑铬层(2)电镀于无氧铜内芯本体(1)的两端面上。

5.按照权利要求1或2或3或4所述的空间行波管收集极内芯，其特征在于：所述黑铬层(2)的厚度为3-6um。

6.一种权利要求1所述的空间行波管收集极内芯的制作工艺，其特征在于：包括：喷砂工序-电镀工序-检测工序-真空退火工序；具体为：

喷砂工序；

将收集极内芯放置于喷砂机上，先用夹具、螺钉将收集极内芯上不需进行喷砂处理的位置保护起来；用喷砂机将研磨粉注入到收集极内芯的处理区，然后从喷砂机上取下收集极内芯，拆下保护夹具及螺钉，转入电镀工序；

电镀工序；

(1)配置好电镀所需的黑铬电解液，然后将黑铬电解液倒入镀铬槽中，将锡阳极和钢片放入黑铬电解液中，保持黑铬电解液温度20-25℃，保持时间为1.5-2小时；然后向黑铬电解液内通电，电流密度为50-100A/dm3，通电时间为2-3min；

(2)将喷砂处理好的收集极内芯进行表面去油，然后用自来水将收集极内芯冲洗干净后放入镀铬槽中；保持黑铬电解液温度为20-25℃，保持时间为1.5-2小时；然后向黑铬电解液内通电，电流密度为50-100A/dm3，通电时间2-3min；

检测工序；

在显微镜下检查电镀处理的收集极内芯表面；

退火工序；

将收集极内芯放入退火炉内，将温度升至680-700℃，保持25-30min进行真空退火。

7.按照权利要求6所述的空间行波管收集极内芯的制作工艺，其特征在于：所述电镀工序中，黑铬电解液的各成分配比为：铬酐：300-500重量份，氟硅酸钾：10-15重量份，硝酸：2-5重量份，水：2500-3000重量份。

8.按照权利要求6所述的空间行波管收集极内芯的制作工艺，其特征在于：所述电镀工序中，收集极内芯进行表面去油的方法为超声波化学去油15分钟，其中化学去油溶液成份比例为：草酸钠：3±0.05重量份；酒石酸钠：2±0.02重量份；OP乳化剂：1.5±0.02重量份；去离子水：1.0±0.02重量份。

9.按照权利要求6所述的空间行波管收集极内芯的制作工艺，其特征在于：所述检测工序中，在显微镜下检查收集极内芯表面，若收集极内芯表面出现起泡、脱落或花斑现象；则将收集极内芯放入盐酸中退除不合格的镀层，然后按电镀工序中步骤(2)对盐酸处理后的收集极内芯进行电镀操作；收集极内芯电镀完后再重复检测工序。

10.按照权利要求7所述的空间行波管收集极内芯的制作工艺，其特征在于：所述黑铬电解液的配置方法为：取部分水，将铬酐溶解到水中后倒入镀铬槽中；将氟硅酸钾溶解到装有铬酐的镀铬槽中；将剩余的水倒入镀铬槽中，直到液面上升至工作位置；将硝酸倒入槽中；将电解液搅拌均匀，完成黑铬电解液的配置。