[发明专利]一种封闭式微流控通道刻蚀方法与自动刻蚀装置

权利要求书

1.一种封闭式微流控通道刻蚀方法，其特征是具有如下步骤：

1）将微流控芯片（10）放入芯片槽（9）正中心，打开封闭式机箱（1）内的温度控制箱（2）使温度保持在50℃，同时驱动三个微型针探底注入式结构的三个驱动电机正转，当三个驱动电机出现堵转时均停转；

2）驱动第一针管推拉式结构（6）的驱动电机正转，第一针管推拉式结构（6）内部的硫酸与铬酸混合的蚀刻液经三通管（36）分别被压入三个微型针探底注入式结构中，并均通过滑动套针注入到待蚀刻位置蚀刻；当传感器（35）检测到蚀刻液从废液出口（34）流出时，第一针管推拉式结构（6）的驱动电机反转，将蚀刻液吸回；如此过程进行三次；

3）驱动第三针管推拉式结构（8）的驱动电机正转，第三针管推拉式结构（8）内部的水经三通管（36）分别被压入三个微型针探底注入式结构中，并均通过滑动套针注入到待蚀刻位置清洗，然后第三针管推拉式结构（8）的驱动电机反转，将清水蚀刻液吸回，如此过程进行三次；

4）驱动第二针管推拉式结构（7）的驱动电机正转，第二针管推拉式结构（7）内部的15%的清硫酸经三通管（36）分别被压入三个微型针探底注入式结构中，并均通过滑动套针注入到待蚀刻位置，去除氧化膜；然后第二针管推拉式结构（7）的驱动电机反转，将清水蚀刻液吸回，如此过程进行三次；

5）驱动三个驱动电机正转，使得三个微型针探底注入式结构的滑动套针继续深入达到待蚀刻处；当三个驱动电机均出现堵转且堵转时间不超过一分钟，则三个微型针探底注入式结构的滑动套针已达到待蚀刻处；

6）重复步骤2-5），当堵转时间超过一分钟，蚀刻完毕，保持第三驱动针管推拉式结构（8）的驱动电机正转，对蚀刻好出的微通道进行清洗。

2.一种实现权利要求1所述封闭式微流控通道刻蚀方法的自动刻蚀装置，待刻蚀微流控芯片（10）置于芯片槽（9）内，其特征是：芯片槽（9）的一角设有废液排放通道（34），排放通道（34）内部装有传感器（35）；待刻蚀微流控芯片（10）与芯片槽（9）均设在封闭式机箱（1）中，封闭式机箱（1）中还设有一个温度控制箱（2）、相同的三个微型针探底注入式结构以及相同的三个针管推拉式结构； 第一、第二、第三针管推拉式结构内部分别装有硫酸与铬酸混合的蚀刻液、15%的清硫酸、水且输出管道通过同一个三通管（36）与三个微型针探底注入式结构相连，三个微型针探底注入式结构与待刻蚀微流控芯片（10）的三个接口进行对接，所述微型针探底注入式结构包括外部套有外部滑套（16）的滑动套针（25），外部滑套（16）和滑动套针（25）之间设置滑轮（17），外部滑套（16）的接口角度与待蚀刻微流控芯片（10）的接口的角度一致，滑动套针（25）的顶端是微型针头（15）、尾端与储液小车（18）前部相连接，储液小车（18）连接与三通管（36）相连的输液管道（19）且储液小车（18）后部通过涡轮（20）、蜗杆（21）与一驱动电机相连。

3.根据权利要求2所述的自动刻蚀装置，其特征是：所述待刻蚀微流控芯片（10）的三个接口是三个斜面接口，第三斜面接口为水平方向，第一、第二斜面接口的方向分别与水平方向呈顺时针及逆时针45°夹角，待刻蚀微流控芯片（10）的内部嵌有呈Y型的微米级铜丝（11），微米级铜丝（11）的三个端口分别位于所述三个斜面接口的正中心。

4.根据权利要求2所述的自动刻蚀装置，其特征是：所述针管推拉式结构由另一驱动电机（27）、涡轮蜗杆机构、内管（28）、外管（29）和密封橡胶（26）组成，另一驱动电机（27）通过涡轮蜗杆机构连接内管（28）尾端，内管（28）外套有外管（29），在内管（28）顶端设置密封橡胶（26），第一、第二、第三针管推拉式结构的三个外管（29）内部分别装有硫酸与铬酸混合的蚀刻液、15%的清硫酸、水。