[发明专利]基于分束偏折结构的小光斑离轴对准系统

权利要求书

1.一种用于光刻设备的对准系统，包括：

提供对准照明光束的光源与照明模块；

对对准标记进行成像的成像模块；

参考光栅；

采集透过参考光栅的光强信号并进行处理的信号采集处理模块；

承载其上具有对准标记的硅片的运动台；

采集承载硅片的工件台的位置信息，并与对准操作与管理模块进行同步谈判，规划运动轨迹，控制运动台运动的位置采集与运动控制模块；

和接收信号采集处理模块和位置采集与运动控制模块的信号的对准操作与管理模块，其特征在于：

所述成像模块具有分束偏折结构，用于使对准标记各标记分支的+1级光和-1级光均发生分束和偏折，然后分别相干成像在参考光栅的子光栅上。

2.根据权利要求1所述的对准系统，其特征在于：所述照明光束的尺寸小于标记分支尺寸。

3.根据权利要求2所述的对准系统，其特征在于：所述分束偏折结构包括各自独立的分束器和偏折器。

4.根据权利要求3所述的对准系统，其特征在于：所述分束器放置于成像模块的频谱面各标记分支±1光路通过的位置处。

5.根据权利要求3所述的对准系统，其特征在于：所述分束器为半透半反射面和全反射面组合的形式，光束通过半透半反射面后，一部分透过该面出射，另一部分被反射至全反射面后由全反射面反射并出射。

6.根据权利要求1-5中任意一个所述的对准系统，其特征在于：所分成的两束光的能量之比为1：1。

7.根据权利要求3-5中任意一个所述的对准系统，其特征在于：所述偏折器为楔板组结构、微透镜阵列或反射镜组合。

8.根据权利要求1所述的对准系统，其特征在于：所述光强信号仅采用与被照射标记线宽、方向均一致的参考子光栅上获得的信号。