[发明专利]一种低压等离子喷涂技术制备Y2O3陶瓷涂层的方法

权利要求书

1.一种低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y₂O₃粉末；

步骤(2)，对待喷涂的基材表面进行预处理；

步骤(3)，选择Ar和H₂为离子气体，通过真空等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，在所述等离子喷涂开始时先将所述真空等离子喷涂设备的真空喷涂室抽真空至1-10Pa，再充入惰性气体Ar，此时使所述真空喷涂室内压力达1.3×10³Pa；继续充入H₂，使其压力达到10³～10⁴Pa后进行喷涂作业；制备出黑色Y₂O₃涂层。

2.如权利要求1所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述步骤(1)中的Y₂O₃粉末的粒度为5～50μm。

3.如权利要求1所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述步骤(2)中对待喷涂的基材表面进行预处理，具体包括如下步骤：对待喷涂的基材表面进行喷砂处理，并用丙酮清洗。

4.如权利要求3所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述喷砂处理采用的喷砂材料为白刚玉，喷砂粒度为50～100μm。

5.如权利要求1所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中Ar气体的流量为40～90L/min，H₂气体的流量为10～30L/min。

6.如权利要求1所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中真空等离子喷涂设备的电弧电压为40～50V，电弧电流为600～900A，送粉速度为15～100g/min，喷涂距离为200～500mm，送粉角度为50°～90°。

7.如权利要求1所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中充入H₂之前对所述待喷涂的基材进行预热且对所述基材表面进行溅射清理。

8.如权利要求1所述的低压等离子喷涂技术制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中喷涂作业完毕后，所述真空喷涂室继续维持低压气氛10³～10⁴Pa直到所述基材冷却至100℃以下。