[发明专利]一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法有效
申请号: | 201110396423.6 | 申请日: | 2011-12-02 |
公开(公告)号: | CN103132002A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 邵花;王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | C23C4/10 | 分类号: | C23C4/10;C23C4/12 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 黑色 sub 陶瓷 涂层 制备 方法 | ||
1.一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;
步骤(2),将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理;
步骤(3),对待喷涂的基材表面进行预处理;
步骤(4),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出黑色Y2O3涂层。
2.如权利要求1所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中的二次造粒后的Y2O3粉末的粒度为5~50μm。
3.如权利要求1所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)具体包括如下步骤:将二次造粒后的Y2O3粉末置于反应炉或退火炉中,通入H2进行还原反应生成缺氧的Y2O3颗粒,其中,还原烧结温度为1200℃~1800℃,还原烧结时间为60min~300min。
4.如权利要求3所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述还原烧结温度为1500℃~1600℃。
5.如权利要求1所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中对待喷涂的基材表面进行预处理,具体包括如下步骤:对待喷涂的基材表面进行喷砂处理,并用丙酮清洗。
6.如权利要求5所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述喷砂处理采用的喷砂材料为白刚玉,喷砂粒度为50~100μm。
7.如权利要求1所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中等离子体喷涂设备使用的离子气体为Ar和H2。
8.如权利要求7所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,Ar气体的流量为40~90L/min,H2气体的流量为5~20L/min。
9.如权利要求1所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中等离子体喷涂设备的电弧电压为40~50V,电弧电流为800~900A,送粉速度为15~100g/min,送粉角度50°~90°,喷涂距离为80~135mm。
10.如权利要求9所述的黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中等离子体喷涂设备在喷涂过程中,采用空气喷吹方法或者循环水冷方法来冷却基体,所述空气喷吹方法中冷却气体的流量为100~2000L/min,所述循环水冷方法中冷却水的流量为10~500L/min。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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