[发明专利]一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法无效
| 申请号： | 201110396560.X | 申请日： | 2011-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103132004A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C4/10 | 分类号： | C23C4/10;C23C4/12 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 等离子 喷涂 技术 制备 sub 涂层 方法 | ||
1.一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；
步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；
步骤(3)，通过三阴极等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y2O3涂层。
2.如权利要求1所述的三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，所述步骤(1)中的Y2O3粉末的粒度为5～100μm。
3.如权利要求1所述的三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，所述步骤(2)中对被喷涂的基材表面进行预处理，具体包括如下步骤：对被喷涂的基材表面进行喷砂处理，并用丙酮清洗。
4.如权利要求3所述的三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，所述喷砂处理采用的喷砂材料为白刚玉，喷砂粒度为50～100μm。
5.如权利要求1所述的三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中三阴极等离子体喷涂设备使用的离子气体为Ar和He，或Ar和H2。
6.如权利要求5所述的三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，当所述离子气体为Ar和He时，Ar气体的流量为50～200L/min，He气体的流量为20～50L/min；当所述离子气体为Ar和H2时，Ar气体的流量为50～200L/min，H2气体的流量为15～50L/min。
7.如权利要求1所述的三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中三阴极等离子喷涂设备的电弧电压为50～200V，电弧电流为200～300A，送粉速度15～100g/min，喷涂距离80～200mm。
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C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
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