[发明专利]低碳钢表面高结合强度TIN陶瓷膜的制备方法

权利要求书

1.低碳钢表面高结合强度TIN陶瓷膜的制备方法，是在低碳钢表面经过强流脉冲电子束处理以后，再利用多弧离子镀技术，在低碳钢表面制备TIN陶瓷膜，特征在于包括以下工艺步骤：

（1）打磨碳钢部件表面，除去表面的大尺寸缺陷；

（2）将经过步骤）处理的低碳钢部件表面清洗，除去油污、杂质；

（3）将经过步骤（2）处理的部件放到真空室中进行高能脉冲电子束处理，高能脉冲电子束处理主要是对低碳钢表面进行深度清洗；

（4）采用多弧离子镀设备对通过步骤（3）处理的碳钢部件表面进行离子镀处理，使其表层镀上一层TIN陶瓷膜。

2.如权利要求述的低碳钢表面高结合强度TIN陶瓷膜的制备方法，其特征在于：上述步骤（3）中高能脉冲电子束处理参数为：电流密度100~150A，脉冲电压12~15kV，脉冲频率2~10Hz，脉冲次数2~10次。

3.如权利要求2所述的低碳钢表面高结合强度TIN陶瓷膜的制备方法，其特征在于：电弧电流为40~80A；负偏压-90~-120V；气体离子源加速电压10~15 kV、电流强度5~10mA；工作压强为0.2Pa；沉积时间10~60min。