[发明专利]用于清洁薄晶圆的旋转夹盘

权利要求书

1.一种用于清洁薄晶圆的器件，包括：

旋转夹盘，所述旋转夹盘包括：

圆形平板，沿着所述圆形平板的边缘具有至少三个延长件；

至少三个固定卡具，安装在所述延长件上，其中，在第一位置中，每个所述固定卡具打开，而通过将所述固定卡具从所述第一位置转动到第二位置，每个所述固定卡具锁定；以及

转动的传动轴，连接到所述圆形平板。

2.根据权利要求1所述的器件，其中，所述延长件为半椭圆形。

3.根据权利要求2所述的器件，其中，所述转动的传动轴通过电机驱动。

4.根据权利要求3所述的器件，其中，所述电机的速度处于500rpm和1000rpm之间，最大速度为大约2000rpm。

5.根据权利要求1所述的器件，其中，所述固定卡具进一步包括上部和底部。

6.根据权利要求5所述的器件，其中，当所述固定卡具处于所述第一位置时，所述底部在基本垂直于所述圆形平板的方向上延伸，所述上部从所述圆形平板的中心向外突出；当所述固定卡具处于所述第二位置时，所述上部从所述圆形平板的中心向内突出。

7.根据权利要求1所述的器件，其中，所述圆形平板的直径为大约400nm。

8.根据权利要求1所述的器件，进一步包括：一个附加延长件和一个附加固定卡具，其中，所述圆形平板的所有延长件沿着所述圆形平板的边缘设置，每个延长件都具有固定卡具。

9.一种用于清洁薄晶圆的系统，包括：

旋转夹盘，所述旋转夹盘包括：

圆形平板，沿着所述圆形平板的边缘具有至少三个延长件，配置为在所述圆形平板上容纳胶带层，所述胶带层具有第一直径；

至少三个固定卡具，每个所述固定卡具都具有上部和底部，所述上部和所述底部安装在所述延长件上，其中，在第一位置中，每个所述固定卡具打开，而通过将所述固定卡具从所述第一位置转动到第二位置，每个所述固定卡具锁定；以及

转动的传动轴，连接到所述圆形平板；以及

晶圆框架，安装在所述旋转夹盘上，配置为固定所述胶带层。

10.一种用于清洁薄晶圆的系统，包括：

旋转夹盘，所述旋转夹盘包括：

圆形平板，沿着所述圆形平板的边缘具有至少三个延长件，配置为在所述圆形平板上容纳胶带层；

至少三个固定卡具，每个所述固定卡具都具有上部和底部，所述上部和所述底部安装在所述延长件上，其中，在第一位置中，每个所述固定卡具打开，而通过将所述固定卡具从所述第一位置转动到第二位置，每个所述固定卡具锁定；以及

转动的传动轴，连接到所述圆形平板；

晶圆框架，安装在所述旋转夹盘上，配置为固定所述胶带层；

杯体，具有内壁和外壁；

至少三个喷嘴和至少三个导管，所述至少三个喷嘴固定在所述杯体的所述内壁，所述至少三个导管固定在所述杯体的所述外壁；

化学溶剂喷嘴，置于所述杯体内和所述旋转夹盘上方；以及

废弃化学品吸收体。