[发明专利]一种磁悬浮分子泵动平衡方法

权利要求书

1.一种磁悬浮分子泵动平衡方法，其特征在于：包括

①启动所述磁悬浮分子泵的电机(8)开始升速，开启磁悬浮分子泵控制器(2)中的力控制不平衡振动控制模块，由所述磁悬浮分子泵控制器(2)控制位移检测装置(18)采集所述磁悬浮分子泵转子的径向位移信号，检测所述转子的径向振幅，如果在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，所述转子上的不平衡质量使所述转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么所述力控制不平衡振动控制模块能够抑制所述转子的同频振动，使转子转速超过其刚性临界转速，顺序执行步骤②；

②所述电机(8)继续加速，由所述位移检测装置(18)检测所述转子的径向振动情况，当所述转子的径向振动幅值超过预设非额定转速振幅时，停止所述电机(8)加速，使转速稳定在该转速ω_i(i＝0，1，2......)处；由所述磁悬浮分子泵控制器(2)控制转速检测装置(19)或动平衡机检测此时的转速ω_i；判断转速ω_i是否小于转子额定转速ω_E，如果ω_i小于ω_E则按顺序执行步骤③，否则执行步骤⑤；

③在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，利用所述动平衡机进行转子转速为非额定转速的动平衡操作，使转子转速从零升至ω_i过程中以及转子转速为ω_i时，所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定转速振幅，之后按顺序执行步骤④；

④令i＝i+1，重复步骤②；

⑤在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，利用所述动平衡机进行转子转速为额定转速动平衡操作，使转子转速从零升至ω_E过程中，所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定转速振幅；并且使转子转速为ω_E时，所述转子的径向振动幅值小于预设额定转速振幅且所述转子残余的不平衡质量小于预设不平衡质量，至此整个动平衡过程完成。

2.根据权利要求1所述的动平衡方法，其特征在于：所述步骤③具体为：

I.利用所述动平衡机测量所述磁悬浮分子泵机壳的振动信号，并同步获取转子转速信号，所述动平衡机采用影响系数法或模态平衡法根据所测得的所述磁悬浮分子泵机壳的振动信号和转子转速信号计算得出所述转子所需的平衡质量及平衡质量的加载相位，关闭所述电机(8)，使转子转速降到零，之后按顺序执行步骤II；

II.根据计算获得的所需平衡质量及平衡质量的加载相位，对所述转子进行平衡加工，之后按顺序执行步骤III；

III.启动所述电机(8)，开启所述力控制不平衡振动控制模块，由所述位移检测装置(18)检测所述转子的径向振幅，如果在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，所述转子上的不平衡质量使所述转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么所述力控制不平衡振动控制模块能够抑制所述转子的同频振动，使转子转速超过其刚性临界转速，按顺序执行步骤IV；

IV.所述电机(8)继续加速，检测转子转速升速至ω_i过程中以及转子转速为ω_i时所述转子的径向振幅，如果所述转子的径向振幅都小于预设非额定转速振幅，则执行步骤④；如果发现所述转子的径向振幅大于或等于预设非额定转速振幅，则停止所述电机(8)加速，重复执行所述步骤I。