[发明专利]医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层及其制作方法有效
申请号: | 201110400410.1 | 申请日: | 2011-12-06 |
公开(公告)号: | CN102437000A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 肖李鹏;徐庆元;赵伟 | 申请(专利权)人: | 四川省科学城神工钨钼有限公司 |
主分类号: | H01J35/10 | 分类号: | H01J35/10;H01J9/02 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 卿诚;吴彦峰 |
地址: | 621900*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 医用 射线 旋转 阳极 高热 辐射 陶瓷 涂层 及其 制作方法 | ||
1.医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层,其特征在于包括下列重量百分比的各组分:TiO2为25-35%、Al2O3为50-65%、ZrO2为5-15%。
2.根据权利要求1所述的医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层,其特征在于各组分的含量为:TiO2为30%、Al2O3为60%、ZrO2为10%。
3.根据权利要求1或2所述的医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层,其特征在于各组分为粉末颗粒,颗粒的粒度范围为6-10μm,且粒度范围在6-8μm的占40%,粒度范围在8-10μm的占60%。
4.上述医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层的制作方法,其特征在于包括下列步骤:
a、配粉:其中TiO2为25-35%、Al2O3为50-65%、ZrO2为5-15%,上述组分按比例称取后在V型混料器中混合48小时即可得混合陶瓷粉末;
b、清洗:靶盘表面采用水溶性合成清洗剂结合超声波清洗的方法,以保证靶盘表面无油、无污、无水的清洁状态;
c、表面除气:在900℃和10-3 Pa条件下,排除靶盘表面的水分和空气;
d、喷砂:对需要涂层部位喷涂粒度为20μm左右的氧化铝颗粒,达到粗化效果;
e、喷涂:按照单个靶盘称料量为200~600克称取步骤a中的混合陶瓷粉末,开始陶瓷混合粉末等离子喷涂;
f、真空热处理:喷涂之后在1600℃和10-4 Pa条件下对靶盘进行真空热处理,,以去除涂层中的空气及可能带入的其他杂质,同时消除涂层中的内应力,即可得到陶瓷涂层。
5.根据权利要求4所述的医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层的制作方法,其特征在于步骤a中的混合陶瓷粉末的颗粒粒度范围为6-10μm,且粒度范围在6-8μm的占40%,粒度范围在8-10μm的占60%。
6.根据权利要求4所述的医用X射线管旋转阳极高热辐射陶瓷涂层的制作方法,其特征在于在步骤e的等离子喷涂中,采用氩气作为等离子气体,氢气作为次气体。
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