[发明专利]一种通用型OLED基片样品架

说明书

技术领域

本发明涉及一种样品架，特别涉及一种用于在OLED真空蒸镀系统的装卸以及工艺腔体中，支撑OLED基片的通用型样品架。

背景技术

在制备OLED的真空蒸镀系统中，在每一个工艺腔和装卸腔内，完成每一个工艺步骤都需要支撑/固定OLED基片的合适样品架。通常情况下，一个尺寸的样品架，只能支撑一种外形尺寸的基片。如果基片的外形尺寸与样品架可容纳的基片的外形尺寸不相符，则或者更换基片重新加工，或者更换全套真空腔体中的样品架以符合新基片的外形尺寸。

目前，OLED基片主要分两大类：一类是通过真空沉积/旋涂/光刻等工艺加工得到的AM/PM驱动的玻璃基片，通常是矩形的；另一类是在硅晶片上，用掺杂/光刻工艺得到的硅基片，通常是圆形的。两种基片的外形是完全不同的。而现有技术，如图1、2所示，是在一对对称的支架臂的相对一侧各开一条凹槽（通常是矩形槽，也可以是圆弧形槽）,D为支架臂的厚度。只有一种凹槽的样品架无法兼容两种外形尺寸完全不同的基片。故而随着样品基片的变更，必须要随之调整装卸真空腔和工艺真空腔中的样品架。这通常需要对真空腔体进行开腔破真空，从而影响真空蒸镀系统的真空度，在更换样品架后，恢复腔体的真空度需要不短的一段时间，会明显影响OLED器件的生产效率。此外，反复装卸不同规格的样品架会对系统中样品架的固定机构造成不可逆的机械损耗。

为了尽可能避免上述情况发生，在基片规格有限的条件下，在某些特定的尺寸上，可以设计在矩形玻璃基片和圆形硅基片间通用的样品架。从而避免了制备多套样品架所产生的物料浪费和反复开腔更换样品架对系统的真空度和机械结构的影响。

发明内容

本发明是针对现在OLED基片样品架不通用导致工艺和生产复杂的问题，提出了一种通用型OLED基片样品架，该样品架利用在一对镜面对称的支架臂上，分别开出矩形和圆弧形凹槽，并且使圆弧形凹槽和矩形凹槽的尺寸符合特定要求，从而使得该样品架能够同时用于支撑/固定玻璃基片和硅基基片。

本发明的技术方案为：一种通用型OLED基片样品架，包括一对外形对称的长方体支架臂，一对支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，支架臂上的矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均小于支架臂厚度的2/3，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度，而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。

所述由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径等于所装圆形基片的直径加0.2mm。

所述由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的长和宽等于所装矩形基片的长和宽上各加0.2mm。

本发明的有益效果在于：本发明通用型OLED基片样品架，该通用样品架在可以用于一定尺寸的矩形玻璃基板的同时，还可以兼容某一尺寸的硅基基板。从而避免了制备和更新样品架带来的物料与时间损失，并且使得更换样品架导致的腔内真空度破坏和意外的机械结构损耗得以避免。

附图说明

图1为现有技术样品架剖视图；

图2为现有技术样品架俯视图；

图3为本发明通用型OLED基片样品架实例一俯视图；

图4为本发明通用型OLED基片样品架实例一剖视图；

图5为本发明通用型OLED基片样品架实例二俯视图；

图6为本发明通用型OLED基片样品架实例二剖视图。

具体实施方式

如图3、4所示，一种通用型OLED基片样品架，自外向内包括一对外形对称的长方体支架臂110，在支架臂相对的一侧，开有一对矩形凹槽130和一对圆弧形凹槽120。所述一对支架臂110分别固定在有一定距离的基座上。支架臂110固定后，一对矩形凹槽130所构成的大矩形凹槽的尺寸略大于用来制备OLED的玻璃基底的矩形基片（一般在矩形基片的长、宽上各加0.2mm）；一对圆弧形凹槽120所形成的正圆形凹槽的尺寸略大于硅基基底的圆形基片（一般在圆形基片的直径上 加0.2mm）。如图4所示的D为支架臂110厚度,矩形凹槽的深度为支架臂110厚度的1/2，圆弧形凹槽深度约为支架臂110厚度的1/3。矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度都不大于支架臂110厚度的2/3。矩形凹槽130的深度大于圆弧形凹槽120，说明该样品架适用于玻璃基片厚度大于硅基基片的情况。