[发明专利]阀门控制系统及其方法

权利要求书

1.一种阀门控制系统，其用于控制半导体设备中向半导体处理腔室中输送处理流体的阀门，所述控制系统包括可以控制阀门转动的步进电机以及控制步进电机的步进电机控制器，

其中所述步进电机控制器包括中央处理器，用于处理步进电机的控制数据；

与中央处理器通过串行总线连接的电机驱动单元，用于根据中央处理器的指令，控制所述步进电机的转动；

PLC控制单元，用于连接外部PLC计算机与所述中央处理器，使所述外部PLC计算机与所述中央处理器之间进行数据交换，由所述外部PLC计算机对所述步进电机进行控制；

PC控制单元，用于连接外部PC计算机与所述中央处理器，使所述外部PC计算机与所述中央处理器之间进行数据交换，由所述外部PC计算机对所述步进电机进行控制。

2.如权利要求1所述的阀门控制系统，其特征在于：所述PLC控制单元包括：

串并转换单元，通过串行总线与中央处理器连接，用于对PLC计算机与中央处理器之间的数据进行串并转换；

光藕隔离单元，与所述串并转换单元连接，对PLC计算机与中央处理器之间进行光藕隔离；

PLC接口单元，与所述光藕隔离单元连接，提供所述阀门控制系统与外部PLC计算机的数据接口。

3.如权利要求2所述的阀门控制系统，其特征在于：所述串并转换单元包括将PLC计算机发送的并行数据转换成中央处理器接收的串行数据的并口转串口单元，以及将中央处理器发送的串行数据转换成PLC计算机接收的并行数据的串口转并口单元。

4.如权利要求2所述的阀门控制系统，其特征在于：所述PLC接口单元包括从阀门控制系统向PLC计算机传输数据的PLC输出端口以及从PLC计算机接收数据的PLC输入端口。

5.如权利要求1所述的阀门控制系统，其特征在于：所述PC控制单元包括以太网芯片及PC接口单元，所述PC接口单元可与外部PC连接，使外部PC可通过所述PC控制单元向中央处理器进行数据交换对步进电机进行控制。

6.如权利要求5所述的阀门控制系统，其特征在于：所述PC接口单元为RJ45接口。

7.如权利要求1所述的阀门控制系统，其特征在于：其还包括报警模块，当数据传输错误时，可发出报警提示。

8.如权利要求1所述的阀门控制系统，其特征在于：其还包括PC与PLC切换控制单元，控制阀门控制系统在同一时间只能接收PC或PLC的其中一个的输入指令。

9.如权利要求1所述的阀门控制系统，其特征在于：所述阀门设置有反馈单元，所述步进电机驱动单元能够接收阀门的反馈信息并传输至中央处理器。

10.一种阀门控制方法，其包括：

提供一种如权利要求1所述的阀门控制系统；

系统检测PLC控制单元是否使能，若使能则由PLC计算机对步进电机控制器进行控制；若不使能则由PC计算机对步进电机控制器进行控制。