[发明专利]一种增加多晶硅还原炉里硅芯根数的方法及装置

权利要求书

1.一种增加多晶硅还原炉里硅芯根数的方法，它包括以下步骤：

①首先将每根硅芯(3)的两端都磨成锥度为1∶3～1∶10的锥形；

②将还原炉里的每个金属电极(1)上都安装一个石墨电极(2)，并保证石墨电极(2)与金属电极(1)接触良好，以通电后石墨电极(2)和金属电极(1)的接触处不打火、不发红为准；

③在石墨电极(2)中心孔的周围有2～8个大直径朝上的锥形小孔(7)，在每个小孔里装上一根硅芯(3)，并保证硅芯(3)与石墨电极(2)接触良好；

④然后再将每根硅芯(3)的上端分别插入石墨固定板(4)的锥形小孔里，并保证硅芯(3)与石墨固定板(4)接触良好；

⑤每两个石墨固定板(4)用一根横梁(8)连接起来，组成了一个类似于倒立的U字形的发热体。

2.权利要求1所述方法中使用的石墨电极(2)是一个类似法兰盘的石墨体，其中心孔是一个上面小，下面大的锥形孔，该锥形孔的锥度和直径的大小都要根据还原炉里的金属电极(1)的大小而定；中心孔的周围有2～8个大直径朝上的锥形小孔(7)，其孔的锥度为1∶3～1∶10，直径与硅芯(3)的直径相同。

3.权利要求1所述方法中使用的石墨固定板(4)是一个类似法兰盘的石墨体，其中部的上面凸出一个下直径30毫米，顶直径25毫米，高25毫米的锥形体(5)，锥形体(5)的周围有2～8个大直径在下的锥形小孔(7)，其孔的锥度为1∶3～1∶10，直径与硅芯(3)的直径相同。

4.权利要求1所述方法中使用的横梁(8)是长方形的石墨体，其两端各有一个大直径30毫米，锥度与锥形体(5)相同的锥形孔。